公开(公告)号：JP5917513B2

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：JP2013523082

申请日：2011-07-18

Applicant: コリア リサーチ インスティテュート オブ スタンダーズ アンド サイエンス ,  KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE

Inventor： パク、ソンチョン ,  リ、トン フン ,  パク、スン ナム

IPC: G01J1/42 ,  G01J1/44 ,  G01J1/02

CPC classification number: G01J1/42 ,  G01J1/02 ,  G01J1/04 ,  G01J1/0474 ,  G01J3/0251 ,  G01J3/0254 ,  G01J2001/4247 ,  G01J2003/1213 ,  G01J3/465

公开(公告)号：JP5784034B2

公开(公告)日：2015-09-24

申请号：JP2012541033

申请日：2010-12-16

Applicant: コリア リサーチ インスティテュート オブ スタンダーズ アンド サイエンス ,  KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE

Inventor： キム,ヒョンハ ,  キム,ウージョン ,  スー,ユンクン

IPC: C12Q1/68 ,  C12Q1/04 ,  C12N15/09

CPC classification number: C12Q1/6895 ,  G01N33/5097

公开(公告)号：JP6130861B2

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：JP2014554655

申请日：2012-12-14

Applicant: コリア リサーチ インスティチュート オブ スタンダーズ アンド サイエンス ,  Korea Research Institute of Standards and Science

Inventor： キム,キウング ,  リー,ヨン‐ホ ,  リー,セオング‐ジョー ,  ユ,クオン‐キュ

IPC: A61B5/05 ,  A61B5/055

CPC classification number: G01R33/385 ,  A61B5/05 ,  A61B5/055 ,  G01R33/26 ,  G01R33/326 ,  G01R33/445 ,  G01R33/48 ,  G01R33/4806

公开(公告)号：TW200925566A

公开(公告)日：2009-06-16

申请号：TW097143698

申请日：2008-11-12

Applicant: 韓國標準科學研究院 KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE

Inventor： 趙龍在 CHO, YONG JAI ,  諸葛園 CHEGAL, WON ,  趙賢模 CHO, HYUN MO

IPC: G01J

CPC classification number: G01B11/0641 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/213

Abstract: 本發明係關於一種具單偏光鏡之聚焦光束橢圓測量儀(single-polarizer focused-beam ellipsometer),且更具體而言,係關於一種具有一簡化結構之聚焦光束橢圓測量儀,其中由一單個偏振分光鏡充當一偏振產生器、一分光鏡及一偏振分析器之角色。採用一種量測方法,其中對多個入射角應用一種多入射平面量測方法,因而可分析樣本光學特性(即在為一薄膜之情形中,該薄膜之厚度及折射率)之準確資訊。根據本發明之一種橢圓測量儀包含:一光源(210);一分光部件(beam splitting part)(220),用於將該光源(210)中所產生之一光分離成一偏振光;一物鏡(objective lens)(230),用於將該分光部件(220)所分離之光中之某些光集中地照射至一樣本(240)上;一光偵測器(photodetector)(250),用於利用複數個單位格子(unit cell)偵測自該樣本(240)反射後穿過該物鏡(230)及該分光部件(220)之光;以及一中央處理單元(central processing unit)(260),用於沿360�之多種入射平面通道、針對各個入射角將該光偵測器(25
0)所偵測之光之强度修正成對應於該光偵測器(250)之單位格子之一値,並處理該修正値。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于一种具单偏光镜之聚焦光束椭圆测量仪(single-polarizer focused-beam ellipsometer),且更具体而言,系关于一种具有一简化结构之聚焦光束椭圆测量仪,其中由一单个偏振分光镜充当一偏振产生器、一分光镜及一偏振分析器之角色。采用一种量测方法,其中对多个入射角应用一种多入射平面量测方法,因而可分析样本光学特性(即在为一薄膜之情形中,该薄膜之厚度及折射率)之准确信息。根据本发明之一种椭圆测量仪包含:一光源(210);一分光部件(beam splitting part)(220),用于将该光源(210)中所产生之一光分离成一偏振光;一物镜(objective lens)(230),用于将该分光部件(220)所分离之光中之某些光集中地照射至一样本(240)上;一光侦测器(photodetector)(250),用于利用复数个单位格子(unit cell)侦测自该样本(240)反射后穿过该物镜(230)及该分光部件(220)之光;以及一中央处理单元(central processing unit)(260),用于沿360�之多种入射平面信道、针对各个入射角将该光侦测器(25 0)所侦测之光之强度修正成对应于该光侦测器(250)之单位格子之一値,并处理该修正値。

公开(公告)号：TW201439354A

公开(公告)日：2014-10-16

申请号：TW103113096

申请日：2014-04-09

Applicant: 韓國標準科學研究院 ,  KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE

Inventor： 李住仁 ,  LEE, JOO IN ,  金貞衡 ,  KIM, JUNG HYUNG ,  劉鏞深 ,  YOO, YONG SHIM ,  俞臣在 ,  YOU, SHIN JAE ,  申容賢 ,  SHIN, YONG HYEON

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C14/26 ,  C23C14/228 ,  C23C14/243

Abstract: 一種蒸發沉積設備及其操作方法，此種蒸發沉積設備包含：一蒸發器，係由一導體製成且具有接收一蒸發材料的一第一腔室、通過第一腔室及一連接路徑接收蒸氣的一第二腔室、以及形成於第二腔體中以透過一點源徑向釋放蒸氣的一出口，一反射噴嘴，係由一導體製成且具有連接至此出口及具有一增加的直徑的一通孔，一感應線圈，用以圍繞反射噴嘴及蒸發器，以及一交流電源，用以將交流電提供至感應線圈。感應線圈感應加熱蒸發器及反射噴嘴以蒸發此蒸發材料，並且蒸氣通過反射噴嘴釋放出。

Abstract in simplified Chinese: 一种蒸发沉积设备及其操作方法，此种蒸发沉积设备包含：一蒸发器，系由一导体制成且具有接收一蒸发材料的一第一腔室、通过第一腔室及一连接路径接收蒸气的一第二腔室、以及形成于第二腔体中以透过一点源径向释放蒸气的一出口，一反射喷嘴，系由一导体制成且具有连接至此出口及具有一增加的直径的一通孔，一感应线圈，用以围绕反射喷嘴及蒸发器，以及一交流电源，用以将交流电提供至感应线圈。感应线圈感应加热蒸发器及反射喷嘴以蒸发此蒸发材料，并且蒸气通过反射喷嘴释放出。

公开(公告)号：TW200925579A

公开(公告)日：2009-06-16

申请号：TW097143701

申请日：2008-11-12

Applicant: 韓國標準科學研究院 KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE

Inventor： 趙龍在 CHO, YONG JAI ,  諸葛園 CHEGAL, WON ,  趙賢模 CHO, HYUN MO

IPC: G01N

CPC classification number: G01B11/06 ,  G01Q30/02

Abstract: 本發明係關於一種用於高速度及大面積之精密量測儀器及其方法,且更具體而言,係關於一種用於高速度及大面積之如下精密量測儀器及其方法:以一聚焦光束橢圓測量(linear focused-beam ellipsometric)部件高速度地量測一樣本之特性,然後以一精密量測部件精密地再次量測顯示出一奇異點(singular point)之位置。該用於高速度及大面積之精密量測儀器(minute measuring instrument)包含:一聚焦光束橢圓測量部件,用於藉由聚焦一偏振光至一樣本上並偵測自該樣本反射之光,高速度地量測該樣本之光學特性;以及一精密量測部件,用於以一原子水準下,再次量測該樣本之該等光學特性被表達為一奇異點(singular point)之位置。藉由以一聚焦光束橢圓測量部件高速度地量測一樣本之特性,然後以一精密量測部件精密地量測顯示出一奇異點(singular point)之位置,可快速且精密地量測樣本之光學奇異點。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于一种用于高速度及大面积之精密量测仪器及其方法,且更具体而言,系关于一种用于高速度及大面积之如下精密量测仪器及其方法:以一聚焦光束椭圆测量(linear focused-beam ellipsometric)部件高速度地量测一样本之特性,然后以一精密量测部件精密地再次量测显示出一奇异点(singular point)之位置。该用于高速度及大面积之精密量测仪器(minute measuring instrument)包含:一聚焦光束椭圆测量部件,用于借由聚焦一偏振光至一样本上并侦测自该样本反射之光,高速度地量测该样本之光学特性;以及一精密量测部件,用于以一原子水准下,再次量测该样本之该等光学特性被表达为一奇异点(singular point)之位置。借由以一聚焦光束椭圆测量部件高速度地量测一样本之特性,然后以一精密量测部件精密地量测显示出一奇异点(singular point)之位置,可快速且精密地量测样本之光学奇异点。

公开(公告)号：TW200809170A

公开(公告)日：2008-02-16

申请号：TW096122510

申请日：2007-06-22

Applicant: 韓國標準科學研究院 KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE ,  K MAC公司 K-MAC

Inventor： 李仲煥 LEE, JOONG WHAN ,  高永俊 KO, YOUNG JUNE ,  朴永善 PARK, YOUNG SUN ,  朴允鍾 PARK, YOON JONG ,  鄭致雲 JEONG, CHIWOON ,  芮相憲 YE, SANGHEON ,  趙龍在 CHO, YONG JAI ,  趙賢模 CHO, HYUN MO ,  諸葛園 CHEGAL, WON

IPC: G01J ,  G01B

CPC classification number: G01N21/211

Abstract: 本發明關於一種橢圓測厚儀,特別關於一種用於分析極化的變化-其係在光入射至然後反射於一樣品的表面上以後具有特定極化的光的變化-以發現樣品的光學性質的橢圓測厚儀。為了此目的,依據本發明的橢圓測厚儀包括一光源;一光源部分模組,具備一用於極化自光源射出之光的極化器;一分光器,用於分割光源部分模組所極化的光;一物鏡,用於允許分光器所分割之光的某部分通過及收歛照射至一樣品;光接收部分模組,具備一極化器,用於橢圓極化反射在樣品上之光,及接收反射在樣品上且通過物鏡與分光器的光;一光學偵測器,用於使用單元裝置偵測光接收部分模組接收的光;及一處理裝置,用於修正光學偵測器所偵測之光的强度至一値,其對應於沿著360�的複數入射表面的通道之光學偵測器17O的單元裝置,及處理該値。

Abstract in simplified Chinese: 本发明关于一种椭圆测厚仪,特别关于一种用于分析极化的变化-其系在光入射至然后反射于一样品的表面上以后具有特定极化的光的变化-以发现样品的光学性质的椭圆测厚仪。为了此目的,依据本发明的椭圆测厚仪包括一光源;一光源部分模块,具备一用于极化自光源射出之光的极化器;一分光器,用于分割光源部分模块所极化的光;一物镜,用于允许分光器所分割之光的某部分通过及收敛照射至一样品;光接收部分模块,具备一极化器,用于椭圆极化反射在样品上之光,及接收反射在样品上且通过物镜与分光器的光;一光学侦测器,用于使用单元设备侦测光接收部分模块接收的光;及一处理设备,用于修正光学侦测器所侦测之光的强度至一値,其对应于沿着360�的复数入射表面的信道之光学侦测器17O的单元设备,及处理该値。

公开(公告)号：TWI283035B

公开(公告)日：2007-06-21

申请号：TW094105266

申请日：2005-02-22

Applicant: 韓國標準科學研究院 KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE

Inventor： 尹周榮 YUN, JU YOUNG ,  申容賢 SHIN, YONG HYEON ,  安鳳榮 AHN, BONG YOUNG ,  鄭光和 CHUNG, KWANG HWA

IPC: H01L ,  C23C

Abstract: 本發明係有關於化學蒸氣沈積工程期間容器內之前驅體餘留量之檢測裝置及檢測方法，更詳細而言為有關在化學蒸氣沈積工程期間，分析該透過超音波之發送／接收而產生之信號能正確地測定餘留在容器內之前驅體的水位之化學蒸氣沈積工程期間容器內之前驅體餘留量之檢測裝置及檢測方法。爰此，依據本發明乃於保存前驅體之容器設置使用超音波的水位檢測器，即時測定前驅體之水位，而於事前防止因前驅體之枯竭所造成之損害，能明顯降低製品不良率的效果，並依據上述測定結果而能得知前驅體之正確的更換時期，因此能使前驅體之使用期間延長至最大。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系有关于化学蒸气沉积工程期间容器内之前驱体余留量之检测设备及检测方法，更详细而言为有关在化学蒸气沉积工程期间，分析该透过超音波之发送／接收而产生之信号能正确地测定余留在容器内之前驱体的水位之化学蒸气沉积工程期间容器内之前驱体余留量之检测设备及检测方法。爰此，依据本发明乃于保存前驱体之容器设置使用超音波的水位检测器，实时测定前驱体之水位，而于事前防止因前驱体之枯竭所造成之损害，能明显降低制品不良率的效果，并依据上述测定结果而能得知前驱体之正确的更换时期，因此能使前驱体之使用期间延长至最大。

公开(公告)号：TW200631115A

公开(公告)日：2006-09-01

申请号：TW094105266

申请日：2005-02-22

Applicant: 韓國標準科學研究院 KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE

Inventor： 尹周榮 YUN, JU YOUNG ,  申容賢 SHIN, YONG HYEON ,  安鳳榮 AHN, BONG YOUNG ,  鄭光和 CHUNG, KWANG HWA

IPC: H01L ,  C23C

Abstract: 本發明係有關於化學蒸氣沈積工程期間容器內之前驅體餘留量之檢測裝置及檢測方法，更詳細而言為有關在化學蒸氣沈積工程期間，分析該透過超音波之發送／接收而產生之信號能正確地測定餘留在容器內之前驅體的水位之化學蒸氣沈積工程期間容器內之前驅體餘留量之檢測裝置及檢測方法。爰此，依據本發明乃於保存前軀體之容器設置使用超音波的水位檢測器，即時測定前驅體之水位，而於事前防止因前驅體之枯竭所造成之損害，能明顯降低製品不良率的效果，並依據上述測定結果而能得知前驅體之正確的更換時期，因此能使前驅體之使用期間延長至最大。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系有关于化学蒸气沉积工程期间容器内之前驱体余留量之检测设备及检测方法，更详细而言为有关在化学蒸气沉积工程期间，分析该透过超音波之发送／接收而产生之信号能正确地测定余留在容器内之前驱体的水位之化学蒸气沉积工程期间容器内之前驱体余留量之检测设备及检测方法。爰此，依据本发明乃于保存前躯体之容器设置使用超音波的水位检测器，实时测定前驱体之水位，而于事前防止因前驱体之枯竭所造成之损害，能明显降低制品不良率的效果，并依据上述测定结果而能得知前驱体之正确的更换时期，因此能使前驱体之使用期间延长至最大。

公开(公告)号：TW201502308A

公开(公告)日：2015-01-16

申请号：TW103117009

申请日：2014-05-14

Applicant: 韓國標準科學研究院 ,  KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE

Inventor： 李住仁 ,  LEE, JOO IN ,  金貞衡 ,  KIM, JUNG HYUNG ,  劉鏞深 ,  YOO, YONG SHIM ,  俞臣在 ,  YOU, SHIN JAE ,  申容賢 ,  SHIN, YONG HYEON

IPC: C23C14/56

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/12 ,  C23C14/26

Abstract: 一種蒸發沈積設備包含蒸發部、分配部、介電部、感應線圈與交流電源。蒸發部透過連接路徑提供蒸發材料。分配部包含複數個孔洞以及透過這些孔洞注入蒸發材料到真空容器內。介電部被裝設於真空容器的開口的鄰近以及被放置為從真空容器突出且覆蓋蒸發部與分配部。感應線圈覆蓋蒸發部與分配部以及感應加熱蒸發部與分配部。交流電源供應交流電到感應線圈。

Abstract in simplified Chinese: 一种蒸发沉积设备包含蒸发部、分配部、介电部、感应线圈与交流电源。蒸发部透过连接路径提供蒸发材料。分配部包含复数个孔洞以及透过这些孔洞注入蒸发材料到真空容器内。介电部被装设于真空容器的开口的邻近以及被放置为从真空容器突出且覆盖蒸发部与分配部。感应线圈覆盖蒸发部与分配部以及感应加热蒸发部与分配部。交流电源供应交流电到感应线圈。