公开(公告)号：CN1208637C

公开(公告)日：2005-06-29

申请号：CN03145437.2

申请日：2003-07-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李周勋 ,  崔德镕

IPC: G02B6/13 ,  G02B6/125 ,  G02B6/26 ,  H04J14/02

CPC classification number: G02B6/1228 ,  G02B6/136

Abstract: 一种制造锥形光波导的方法，通过该方法，可将不同尺寸的波导彼此光学地连接起来。在这种方法中，通过灰度级掩模将光暴露在施加在中心层上的光敏抗蚀剂上，并控制光敏抗蚀剂的曝光程度和持续时间，以在中心层上形成具有倾斜外形的光敏抗蚀剂图案，然后，通过控制光敏抗蚀剂图案的外形和光敏抗蚀剂与中心层之间的蚀刻选择比例，可以精确地控制锥形波导的外形。

公开(公告)号：CN1469140A

公开(公告)日：2004-01-21

申请号：CN03145437.2

申请日：2003-07-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李周勋 ,  崔德镕

IPC: G02B6/13 ,  G02B6/125 ,  G02B6/26 ,  H04J14/02

CPC classification number: G02B6/1228 ,  G02B6/136

Abstract: 一种制造锥形光波导的方法，通过该方法，可将不同尺寸的波导彼此光学地连接起来。在这种方法中，通过灰度级掩模在中心层上形成具有倾斜外形的光敏抗蚀剂图案，然后，通过控制光敏抗蚀剂图案的外形和光敏抗蚀剂与中心层之间的蚀刻选择比例，可以精确地控制锥形波导的外形。