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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1972102B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200610117320.0
申请日：2006-10-19
Applicant: 上海大学
IPC: H02N1/00
Abstract: 本发明涉及一种静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器。包括基板、由支撑梁支撑而贴近基板表面绝缘层的致动平板、与致动平板连成一体的垫块、以及分别接通基板和致动平板的固定电极，所述的支撑梁是与致动平板连成一体而从致动平板两侧向外延伸弯折形成的两个折叠梁，所述的致动平板一侧或两侧的折叠梁与所述的连通致动平板的固定电极连成一体。本发明的整体体积较小，可与集成电路制作工艺相兼容。具有致动位移大、精度高、致动过程可控性好、能实现纳米级步进致动。通过施加驱动电压，驱动微致动器，实现其执行机构传递负载的作用。本发明在生物医学、航空航天技术、IT产业、制造业等方面具有较大的应用前景。
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公开(公告)号：CN100568721C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200710038953.7
申请日：2007-03-29
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种静电致动串联式射频微滤波器。它由一块硅片基底上沉积多晶硅结构层构成；多晶硅结构层包括由两个分别相互插配的固定梳齿和移动梳齿、两个分别连接两个移动梳齿的支撑梁、和与支撑梁连接的弹性支撑架构成的两个微谐振器，以及两个分别连接两个固定梳齿的固定电极和一个接地电极，所述的多晶硅结构层中，所述的两个微谐振器的两个支撑梁内端，分别连接一个细长框形弹性耦合梁的两条边中点而实现两个微谐振器的串联式连接；所述的两个支撑梁与弹性支撑架的连接是其中部两侧对称连接两个所述的弹性支撑架，而每个弹性支撑架各通过一个基座与基底固定连接。本发明具有高Q值、高频率、高灵敏率、低损耗和数字输出等特点。通过施加驱动电压，驱动微滤波器，实现其执行机构传递信号与滤波的作用。本发明在生物医学、航空航天技术、IT产业、制造业等方面具有较大的应用前景。
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公开(公告)号：CN101267192A
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200710038953.7
申请日：2007-03-29
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种静电致动串联式射频微滤波器。它由一块硅片基底上沉积多晶硅结构层构成；多晶硅结构层包括由两个分别相互插配的固定梳齿和移动梳齿、两个分别连接两个移动梳齿的支撑梁、和与支撑梁连接的弹性支撑架构成的两个微谐振器，以及两个分别连接两个固定梳齿的固定电极和一个接地电极，所述的多晶硅结构层中，所述的两个微谐振器的两个支撑梁内端，分别连接一个细长框形弹性耦合梁的两条边中点而实现两个微谐振器的串联式连接；所述的两个支撑梁与弹性支撑架的连接是其中部两侧对称连接两个所述的弹性支撑架，而每个弹性支撑架各通过一个基座与基底固定连接。本发明具有高Q值、高频率、高灵敏率、低损耗和数字输出等特点。通过施加驱动电压，驱动微滤波器，实现其执行机构传递信号与滤波的作用。本发明在生物医学、航空航天技术、IT产业、制造业等方面具有较大的应用前景。
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公开(公告)号：CN1972102A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200610117320.0
申请日：2006-10-19
Applicant: 上海大学
IPC: H02N1/00
Abstract: 本发明涉及一种静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器。包括基板、由支撑梁支撑而贴近基板表面绝缘层的致动平板、与致动平板连成一体的垫块、以及分别接通基板和致动平板的固定电极，所述的支撑梁是与致动平板连成一体而从致动平板两侧向外延伸弯折形成的两个折叠梁，所述的致动平板一侧或两侧的折叠梁与所述的连通致动平板的固定电极连成一体。本发明的整体体积较小，可与集成电路制作工艺相兼容。具有致动位移大、精度高、致动过程可控性好、能实现纳米级步进致动。通过施加驱动电压、驱动微致动器，实现其执行机构传递负载的作用。本发明在生物医学、航空航天技术、IT产业、制造业等方面具有较大的应用前景。
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公开(公告)号：CN201130095Y
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200720198910.0
申请日：2007-12-06
Applicant: 上海大学
IPC: G01M13/04
Abstract: 本实用新型涉及一种径向滑动轴承实验台。它包括由电机驱动的主轴上套装轴套后再套装实验的上、下轴瓦，下轴瓦置于静压油槽内，该静压油槽内腔接通高压油源构成加载系统；在下轴瓦内安装压力传感器和温度传感器，上轴瓦上面和侧面安装位移传感器，所有的传感器信号引出经数据采集卡接入计算机，构成测试系统。本实用新型能用于实验参数和工况可变的中型大功率控向滑动轴承，能很好的模拟实际情况，得到可信度高的实验数据。
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