公开(公告)号：CN116008189A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202211546608.5

申请日：2022-12-05

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  刘燕霖 ,  薛鹏 ,  孟永宏 ,  王志斌 ,  李孟委

IPC: G01N21/21 ,  G01N21/35 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明属于光谱椭偏结构技术领域，具体涉及一种基于傅里叶光谱和光栅光谱的超宽波段光谱椭偏结构，包括近红外到中波红外波段起偏模块、深紫外到近红外波段起偏模块、样品台、检偏模块、轨道，所述近红外到中波红外波段起偏模块、深紫外到近红外波段起偏模块、样品台和检偏模块均设置在轨道上，所述轨道为环形轨道，所述近红外到中波红外波段起偏模块、深紫外到近红外波段起偏模块的光路方向上均设置有样品台，所述检偏模块设置在样品台的光路方向上。本发明针对不同的波段设置了不同的起偏检偏模块，可实现单次测量一个谱段，增大调制效率。并且本发明为检偏模块增加了轨道设计，使得本结构可以自动测量针对不同波段入射角透射或反射模式。