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公开(公告)号：CN221811770U
公开(公告)日：2024-10-08
申请号：CN202322980480.X
申请日：2023-11-03
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01N23/2251
Abstract: 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜采集成像系统，包含探测器组件，该探测器组件设置于真空腔内载物台的上方，该探测器组件包含基座和托架，在托架上设有至少两组同类型的探测器，并且该托架可相对基座旋转，旋转托架可调整探测器相对样品的采集角度，多次调整能够从多角度获取样品多个同类型的图像信息，如此不仅能够获得明暗变化最明显的优质图像信息，且可以利用三维成像算法形成样品的三维图像；可见，采用本申请该扫描电子显微镜采集成像系统能够通过多角度的图形信息实现对样品更全面的分析和了解，也能够通过多个多角度图形信息获取样品的三维图像，为后续图像的使用提供更详细、准确的观察和分析结果。
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