公开(公告)号：CN114788416A

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202180007023.3

申请日：2021-01-18

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 平冈尊宏 ,  中村谦介 ,  鲛岛贵纪

IPC: H05H1/24 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  C23C16/513

Abstract: 一种电介质阻挡式等离子体产生装置，具备：电介质基板；高电压侧电极，其设于电介质基板的第一面侧；低电压侧电极，其设于电介质基板的第二面侧；以及电导入部，其设于高电压侧电极的一端；在电介质基板与低电压侧电极之间，形成有用于使气体从一端侧流向另一端侧的气体流路，在气体流路的另一端侧，形成有用于将流过气体流路的气体以及在气体流路中产生的等离子体吹出的吹出口，电介质基板具有厚度随着靠近吹出口而变薄的部分。

公开(公告)号：CN117480869A

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202280041921.5

申请日：2022-02-28

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 中村谦介 ,  平冈尊宏

IPC: H05H1/24

Abstract: 本发明提供一种能够效率地从吹出口的整个区域均匀地喷射等离子体的电介质阻挡放电式等离子体发生装置。电介质阻挡放电式等离子体发生装置具备：电介质基板，呈在第一方向上延伸的板形状，具有第一面和在与第一方向正交的第二方向上位于与第一面相反的一侧的第二面；第一电极，配置于电介质基板的第一面侧；第二电极，配置于从电介质基板的第二面向第二方向离开的位置；气体流路，由电介质基板与第二电极之间的空隙形成，供气体在与第一方向和第二方向正交的第三方向上流通；及吹出口，设置于气体流路的第三方向上的一个端部即第一端，并在第一方向上延伸。

公开(公告)号：CN115942986A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202180042886.4

申请日：2021-06-15

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 大塚优一 ,  平冈尊宏 ,  三浦真毅 ,  中村谦介

IPC: B01D53/72 ,  C01B13/10 ,  B01D53/48 ,  B01D53/52 ,  B01D53/54 ,  B01D53/58 ,  B01D53/76

Abstract: 本发明提供能够通过简便的方法将以几百ppm以下这样的低浓度包含处理对象物质的被处理气体分解的技术。本发明的气体处理方法具有以下工序：使在空气中混杂有在常温下显示出挥发性、属于由碳化合物、氮化合物及硫化合物组成的组中的至少一种的对象物质而成的被处理气体通流至箱体内的工序(a)；向在箱体内被处理气体所通流的空间内在200℃以下导入臭氧的工序(b)；在工序(b)的执行后将被处理气体进行搅拌的工序(c)；和在工序(c)的执行后将被处理气体加热至300℃以上的工序(d)。