紫外光照射装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117771403A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202311242997.7

    申请日:2023-09-25

    Abstract: 提供提高了性能的紫外光照射装置。紫外光照射装置具备:光源,发出属于190nm以上且短于240nm的波段内的紫外光;壳体,包围所述光源,具有用于将所述紫外光向外部取出的光取出部;及滤光器,以堵住所述光取出部的方式配置,具备使所述紫外光透过的基材及层叠于所述基材的电介质多层膜,使190nm以上且短于240nm的波段的紫外光透过,将240nm以上且260nm以下的波段的紫外光的透过限制为5%以下,所述滤光器以使所述电介质多层膜比所述基材靠近所述光源的方式配置。

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