反射镜装置以及具有该反射镜装置的光源装置

    公开(公告)号:CN113467044B

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202110210810.X

    申请日:2021-02-25

    Abstract: 本发明提供一种能够保持反射镜的平行性,并且能够抑制由粘接剂的劣化引起的反射镜的脱落的反射镜装置。反射镜装置(13)具有多个反射镜(15)、载置多个反射镜(15)的反射镜支承体(17)、以及用于粘接固定多个反射镜(15)与反射镜支承体(17)的粘接部件(30)。反射镜支承体(17)具有供多个反射镜(15)抵接的抵接部(17B)、以及以抵接部(17B)为基准而从反射镜(15)离开的方向的台阶(172)。台阶(172)具有设置粘接部件(30)的粘接固定部(1721)。

    反射镜装置以及具有该反射镜装置的光源装置

    公开(公告)号:CN113467044A

    公开(公告)日:2021-10-01

    申请号:CN202110210810.X

    申请日:2021-02-25

    Abstract: 本发明提供一种能够保持反射镜的平行性,并且能够抑制由粘接剂的劣化引起的反射镜的脱落的反射镜装置。反射镜装置(13)具有多个反射镜(15)、载置多个反射镜(15)的反射镜支承体(17)、以及用于粘接固定多个反射镜(15)与反射镜支承体(17)的粘接部件(30)。反射镜支承体(17)具有供多个反射镜(15)抵接的抵接部(17B)、以及以抵接部(17B)为基准而从反射镜(15)离开的方向的台阶(172)。台阶(172)具有设置粘接部件(30)的粘接固定部(1721)。

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