公开(公告)号：CN118355331A

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202280080416.1

申请日：2022-12-22

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 寺本雄介

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00

Abstract: 提供一种能够提高由能量束生成的等离子体的发光效率的光源装置。有关本发明的一形态的光源装置是通过能量束将液体原料等离子体化而将放射线取出的光源装置，具备旋转体、原料供给部和膜厚调整部。上述旋转体被配置在上述能量束入射的位置处，具有与上述能量束的入射区域重叠地设置的槽部。上述原料供给部对上述槽部供给上述液体原料。上述膜厚调整部调整上述液体原料的膜厚，以使得在上述能量束的入射区域上述液体原料的表面成为与上述槽部对应的凹面。

公开(公告)号：CN118451374A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202280085827.X

申请日：2022-12-22

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 寺本雄介

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00

Abstract: 提供一种能够抑制碎片的影响的光源装置。本发明的一方式的光源装置具备束获取部、板部件、原料供给部、及放射线取出部。所述束获取部获取能量束。所述板部件具有表面以及背面，配置于所获取的所述能量束入射到所述表面的位置，以与所述表面正交的方向作为旋转轴方向而旋转。所述原料供给部通过向所述表面的所述能量束所入射的入射区域供给等离子体原料而生成等离子体。所述放射线取出部从所生成的所述等离子体取出并射出放射线。另外，所述板部件配置成所述表面的所述入射区域中的法线轴偏离轴间区域，该轴间区域在向所述入射区域入射的所述能量束的入射轴与从所述等离子体取出的所述放射线的射出轴之间构成。