公开(公告)号：CN1674721A

公开(公告)日：2005-09-28

申请号：CN200510003687.5

申请日：2005-01-10

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 小田垣徹 ,  水川洋一

IPC: H05B3/84 ,  H05B3/32 ,  H05B1/00 ,  H05K7/20

CPC classification number: H01L21/67115 ,  H01L21/67109

Abstract: 提供一种可以高温加热晶片等被加热物，并且可防止在加热中因产生不纯物而导致的被加热物污染的加热平台。具备：载置被加热物的平坦的平台部，具有与该平台部连续、在其内部收纳有作为加热装置的多个灯泡的圆筒部的玻璃制部件；以及具有圆筒部及底面部，与玻璃制部件一体化而形成减压状态或是充填有惰性气体的内部空间的金属制部件。

公开(公告)号：CN102821493B

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201210186578.1

申请日：2012-06-07

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 小田垣徹

IPC: H05B3/00 ,  H01K1/28 ,  F27D11/00

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 提供一种卤素加热灯单元及热处理装置，长期使用时也不会产生发光管破损，使用寿命长。热处理装置具有：隔热筐体，包围对工件进行加热的热处理空间，由隔热材料构成；筒状体，配置成插通到形成于该隔热筐体的上壁的插入孔；以及卤素加热灯，作为加热工件的热源，具有由水平部及从该水平部两端向垂直方向延伸的垂直部构成的U字状的发光管，在发光管内的至少水平部配置有灯丝，该热处理装置的特征在于，该卤素加热灯配置成使该卤素加热灯的发光管的各垂直部在该垂直部的外周面和上述筒状体的内周面之间存在间隙的状态下插通到上述筒状体内。

公开(公告)号：CN102821493A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201210186578.1

申请日：2012-06-07

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 小田垣徹

IPC: H05B3/00 ,  H01K1/28 ,  F27D11/00

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 提供一种卤素加热灯单元及热处理装置，长期使用时也不会产生发光管破损，使用寿命长。热处理装置具有：隔热筐体，包围对工件进行加热的热处理空间，由隔热材料构成；筒状体，配置成插通到形成于该隔热筐体的上壁的插入孔；以及卤素加热灯，作为加热工件的热源，具有由水平部及从该水平部两端向垂直方向延伸的垂直部构成的U字状的发光管，在发光管内的至少水平部配置有灯丝，该热处理装置的特征在于，该卤素加热灯配置成使该卤素加热灯的发光管的各垂直部在该垂直部的外周面和上述筒状体的内周面之间存在间隙的状态下插通到上述筒状体内。