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公开(公告)号:CN1035395A
公开(公告)日:1989-09-06
申请号:CN88109261
申请日:1988-12-19
Applicant: 住友电气工业株式会社
CPC classification number: Y02E40/642
Abstract: 一种用物理蒸镀法在MgO、SrTiO3或ZrO2单晶基片上形成以Ln1Ba2Cn3O7-x(Ln是镧系元素)、(La1X∴x)2CuO4(α是Ba或Sr)所表示的复合氧化物超导体薄膜的改进方法。本发明的特征在于:在使上述复合氧化物超导体薄膜表面的光洁度Rmax(基准长度=1000μm)为0.2μm以下的平滑面的条件下,进行物理蒸镀。