液体排出头的制造方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101896352A

    公开(公告)日:2010-11-24

    申请号:CN200880120539.3

    申请日:2008-12-18

    Abstract: 提供一种用于制造液体排出头的方法,该液体排出头在基板上或上方包含与排出端口连接的流动路径形成部件,该方法包括:在基板上或上方设置包含感光树脂的层;在包含感光树脂的层上的与流动路径对应的区域处设置使得能够减少具有感光树脂的感光波长的光的透射的掩模层;使用掩模层对于包含感光树脂的层执行曝光,以使得包含感光树脂的层成为具有流动路径的形状的图案;设置变成流动路径形成部件的层以覆盖图案;在所述的变成流动路径形成部件的层的一部分处形成排出端口;和通过去除图案形成流动路径。

Patent Agency Ranking