薄膜形成方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103906576A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201280047881.1

    申请日:2012-09-20

    CPC classification number: B41J2/175 H01L51/0005

    Abstract: 使多个喷嘴(23)的喷出口接近作为喷出检查用被记录体的显像层薄膜(28),一边使显像层薄膜(28)与多个喷嘴(23)相对移动,一边从多个喷嘴(23)喷出墨水而进行试验涂布。接着,在试验涂布时,进行通过各个喷嘴(23)而描绘的轨迹的线宽测定。接着,一边使供给至喷嘴(23)的墨水的流量变化,一边反复进行试验涂布及线宽测定,求出使通过各个喷嘴(23)而描绘的轨迹的线宽相同那样的、供给至喷嘴(23)的流量的组合。通过使用所求出的流量的组合喷出墨水,能够使墨水的喷出量固定。

Patent Agency Ranking