用于空间光束位置测量与光轴定位调装的CQP系统及方法

    公开(公告)号:CN117968725A

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN202311514951.6

    申请日:2023-11-13

    Abstract: 本发明提供了一种用于空间光束位置测量与光轴定位调装的CQP系统及方法,属于光学精密测量技术领域,CQP系统包括分束镜、光程增大单元和两个探测器;光程增大单元位于分束镜和两个探测器之间;光程增大单元用于增大两个探测器与分束镜的分束面的光程距离,减小探测器的角分辨和空间分辨误差;探测器接收光程增大单元输出的光束;两个探测器输出的差分功率信号为零时的位置用于定位光束的空间位置;其中,调节光束光轴与探测器的主轴重合,完成光束光轴精密定位调装。本发明提高了实际激光光束光轴的定位精度。

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