公开(公告)号：CN107336148A

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201710647441.4

申请日：2017-08-01

Applicant: 华侨大学

Inventor： 黄国钦 ,  刘琼 ,  穆德魁 ,  黄辉 ,  郭桦 ,  徐西鹏

IPC: B24D7/06 ,  B24D18/00

CPC classification number: B24D7/06 ,  B24D18/0072

Abstract: 本发明提供了一种快速制备磨粒图案分布磨盘的方法，所述的磨盘为包括但不限于磨轮、砂轮、钻头、端面磨盘、滚轮、修整器、CMP修整器、磨垫，包含以下步骤：1)依据所需结合剂厚度确定临时覆盖层的厚度；2)根据磨粒图案的分布对临时覆盖层进行镂空处理；3)将临时覆盖层覆于磨盘基体上；4)将磨粒与结合剂填充进镂空处；5)将磨粒固定于基体，包括以下两种方法：5.1)先移除临时覆盖层，加热使磨粒固定于基体；5.2)临时覆盖层与磨粒一同加热，磨粒固定于基体后，移除临时覆盖层。