公开(公告)号：CN118243274A

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202410536212.5

申请日：2024-04-30

Applicant: 华侨大学

Inventor： 崔长彩 ,  张暄援 ,  黄国钦 ,  黄辉

IPC: G01L5/00 ,  G01L1/24

Abstract: 本发明公开了一种衬底残余应力的光学无损检测系统及方法，系统包括光源、调制模块、分光镜、样品台、解调模块、图像采集模块；光源、调制模块和分光镜沿着直线A依次布置，分光镜、解调模块和图像采集模块沿着直线B依次布置，直线A垂直于直线B，样品台与分光镜的连线同时垂直于直线A和直线B。测量时，光源发出的激光经过调制模块、分光镜、待测材料和解调模块后到达图像采集模块，被采集形成一系列干涉图像，通过光强信号、光学元器件参数与等倾角和相位差的关系，计算出衬底残余应力的方向和大小。本发明通过垂直入射式反射光弹光路检测系统，改进现有的反射式光弹系统因小角度入射引起的系统误差，实现衬底残余应力的高精度检测。

公开(公告)号：CN222166377U

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202420941486.8

申请日：2024-04-30

Applicant: 华侨大学

Inventor： 崔长彩 ,  张暄援 ,  黄国钦 ,  黄辉

IPC: G01L5/00 ,  G01L1/24

Abstract: 本实用新型公开了一种衬底残余应力的光学无损检测系统，包括光源、调制模块、分光镜、样品台、解调模块、图像采集模块；光源、调制模块和分光镜沿着直线A依次布置，分光镜、解调模块和图像采集模块沿着直线B依次布置，直线A垂直于直线B，样品台与分光镜的连线同时垂直于直线A和直线B。检测时，光源发出的激光经过调制模块、分光镜、待测材料和解调模块后到达图像采集模块，被采集形成一系列干涉图像，通过光强信号、光学元器件参数与等倾角和相位差的关系，计算出衬底残余应力的方向和大小。本实用新型通过垂直入射式反射光弹光路检测系统，改进现有的反射式光弹系统因小角度入射引起的系统误差，实现衬底残余应力的高精度检测。