公开(公告)号：CN103744130A

公开(公告)日：2014-04-23

申请号：CN201410001234.8

申请日：2014-01-03

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 刘清惓 ,  李海涛 ,  韩上邦 ,  杨龙

IPC: G01W1/14

Abstract: 本发明公开了具有三层基板的微机械传感器，属于微机械传感器的技术领域。所述传感器包括三层单晶硅片制成的基板、利用三层基板以及空腔结构构建气体流通的唯一路径。使用MEMS加工工艺，减小了传感器体积。利用这种微机械传感器可测量降水粒子。

公开(公告)号：CN103744130B

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201410001234.8

申请日：2014-01-03

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 刘清惓 ,  李海涛 ,  韩上邦 ,  杨龙

IPC: G01W1/14

Abstract: 本发明公开了具有三层基板的微机械传感器，属于微机械传感器的技术领域。所述传感器包括三层单晶硅片制成的基板、利用三层基板以及空腔结构构建气体流通的唯一路径。使用MEMS加工工艺，减小了传感器体积。利用这种微机械传感器可测量降水粒子。