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公开(公告)号：CN110108399B
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201910436739.X
申请日：2019-05-24
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明属于柔性压力传感器技术领域，具体涉及一种基于生物材料向日葵花花粉和碳化钛复合材料的柔性压力传感器及其制备方法。该方法制作出的器件依次由下柔性衬底、下金属电极、20～40μm厚的向日葵花花粉/碳化钛复合薄膜传感层、上金属电极和上柔性衬底组成。本发明所述器件受到外力会引起传感层发生形变，厚度减小，进而引起材料电阻减小，相应的输出电流信号增加。与传统的压力传感器相比，本发明制备的压力传感器，不仅具有良好的柔性、高稳定性、高灵敏度和较快的响应恢复时间，而且具有生物相容性，更可以大规模大面积制作传感器阵列，适合用于可穿戴电子皮肤、医疗健康和智能机器人等领域。
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公开(公告)号：CN110108399A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201910436739.X
申请日：2019-05-24
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明属于柔性压力传感器技术领域，具体涉及一种基于生物材料向日葵花花粉和碳化钛复合材料的柔性压力传感器及其制备方法。该方法制作出的器件依次由下柔性衬底、下金属电极、20～40μm厚的向日葵花花粉/碳化钛复合薄膜传感层、上金属电极和上柔性衬底组成。本发明所述器件受到外力会引起传感层发生形变，厚度减小，进而引起材料电阻减小，相应的输出电流信号增加。与传统的压力传感器相比，本发明制备的压力传感器，不仅具有良好的柔性、高稳定性、高灵敏度和较快的响应恢复时间，而且具有生物相容性，更可以大规模大面积制作传感器阵列，适合用于可穿戴电子皮肤、医疗健康和智能机器人等领域。
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