公开(公告)号：CN118447201A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410534147.2

申请日：2024-04-30

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 程健 ,  陈广 ,  王备 ,  沈世辰 ,  周诗程 ,  赵林杰 ,  陈明君 ,  丁雯钰 ,  雷鸿钦

IPC: G06T19/20 ,  G06T17/10

Abstract: 本发明一种用于KDP晶体DPN水溶修复形貌演变模拟的表面微纳缺陷三维形貌演变模拟方法，涉及微纳制造领域，为解决现有方法无法将KDP元件表面微纳缺陷三维形貌转化为DPN水溶修复形貌演变模拟模型初始值进行微纳缺陷三维形貌演变模拟的问题。包括：步骤一、采集KDP光学元件表面微纳缺陷三维云图；步骤二、对三维云图进行预处理，转换导出为一维数组；步骤三、对一维数组进行零点偏移和归一化缩放；步骤四、对一维数组进行二维像素矩阵映射变换；步骤五、重写为灰度图像后导入模拟模型，对每个二维像素点进行坐标映射；步骤六、进行反演变换实现三维云图的重建；步骤七、进行初始化并求解，得到以缺陷实际形貌为初始值的DPN水溶修复形貌演变过程。

公开(公告)号：CN118445941A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410534143.4

申请日：2024-04-30

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 程健 ,  陈广 ,  沈世辰 ,  周诗程 ,  王备 ,  陈明君 ,  赵林杰 ,  丁雯钰 ,  雷鸿钦

IPC: G06F30/17 ,  G06F30/28 ,  G16C10/00 ,  G16C60/00 ,  G06F119/08 ,  G06F111/14 ,  G06F111/04 ,  G06F119/14

Abstract: 本发明提供一种基于动网格‑流体‑相场耦合的DPN纳米级水半月板动态特性模拟方法，涉及微纳制造技术领域，为解决现有方法的模型空间和时间尺度小，未考虑空气和水的材料属性以及AFM探针的运动参数等因素，以及AFM探针仅能沿垂直于基体表面方向移动等问题。包括：步骤一、构建水半月板全范围计算模型，求解DPN水半月动态特性分析初始条件；步骤二、构建DPN水半月板动态特性分析几何模型；步骤三、对几何模型进行收敛性增强处理，保证网格质量；步骤四、设定分析模型初始值，赋边界条件，对模型进行静态弛豫处理；步骤五、将几何模型划分为指定运动域和自由变形域，设定AFM探针运动参数和动网格边界条件，对模型进行瞬态求解，获得DPN水半月板动态特性。

公开(公告)号：CN118447202A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410534151.9

申请日：2024-04-30

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 程健 ,  陈广 ,  周诗程 ,  王备 ,  沈世辰 ,  陈明君 ,  赵林杰 ,  丁雯钰 ,  雷鸿钦

IPC: G06T19/20 ,  G06T17/00 ,  G16C60/00 ,  G16C20/20

Abstract: 本发明提供一种用于KDP晶体表面微纳缺陷DPN水溶扫描修复的AFM探针作用轨迹生成方法，涉及微纳制造领域，为解决现有方法仅能假设AFM探针的作用是空间均匀场，未考虑AFM探针扫描工艺参数对结果的影响的问题。包括：步骤一、构建DPN液桥全范围计算模型，获取AFM探针在KDP晶体元件表面的作用域；步骤二、构建DPN水溶修复形貌演变模型，根据作用域尺寸构建开关函数；步骤三、根据AFM探针扫描工艺参数构建液桥对称中心时变函数；步骤四、将对称中心时变函数加载到开关函数对称中心上，对开关函数进行时变修正；步骤五、对DPN水溶修复形貌演变模型进行系数加权，生成AFM探针动态作用轨迹；步骤六、将作用轨迹加载到演变模型，模拟DPN水溶修复形貌演变过程。