公开(公告)号：CN116972044A

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202311102087.9

申请日：2023-08-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 高思煜 ,  徐晶凤 ,  杨宏彬 ,  高强 ,  朱敏 ,  商友云 ,  卢礼华 ,  曹永智 ,  赵航 ,  崔耀文

IPC: F15B15/14 ,  F15B15/20 ,  F15B21/00

Abstract: 一种表面节流型无摩擦平衡气缸及工作方法，它包含前端盖、缸体、活塞杆、活塞和后端盖；所述活塞的外表面上开有两个圆周凹槽，与前端盖相邻的圆周凹槽为供气槽，与后端盖相邻的圆周凹槽为卸气槽，卸气槽内开有与缸体内腔相通的卸气孔，活塞的与后端盖相邻的端面上沿轴向布置有供气通道，卸气孔与供气通道不相通，供气槽上开有与供气通道相通的供气孔，所述活塞的外表面设置有三段圆周凸台，以使气体进入到活塞与缸体之间的间隙中进行表面节流形成压力气膜。本发明占用空间小、加工装配简单、精度高、不易坏，能可靠的适用于超精密机床垂直轴平稳的垂直运动。

公开(公告)号：CN116972043A

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202311102085.X

申请日：2023-08-29

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  哈尔滨同和光学精密机械有限公司

Inventor： 高思煜 ,  徐晶凤 ,  杨宏彬 ,  朱敏 ,  高强 ,  商友云 ,  卢礼华 ,  张鹏 ,  杨刚 ,  崔耀文

IPC: F15B15/14 ,  F15B15/20 ,  F15B21/00

Abstract: 一种表面节流和狭缝节流组合型无摩擦平衡气缸及工作方法，它包含前端盖、活塞杆、缸体、活塞和后端盖，活塞包含内活塞和外活塞，内活塞嵌套在外活塞内，活塞杆的另一端固定在内活塞上，外活塞与缸体的内表面滑动接触，内活塞的与后端盖相邻的端面上沿轴向设置有供气通道，外活塞的内侧面上开有与供气孔相配合的内环形槽，外活塞的外侧面上开有弧形狭缝孔道，弧形狭缝孔道布置在内环形槽的底部且二者相通，外活塞的外侧面上开有卸气槽，卸气槽的底部开有卸气孔，外活塞的临近卸气槽处的外表面上设置有环形凸台。本发明综合了表面节流和狭缝节流在高精度精密轴系中的应用优势，可满足超精密机床垂直轴高精度、平稳运动的需求。