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1.

实用新型
扭转梁电容式射频微机械开关失效

公开(公告)号：CN201417715Y

公开(公告)日：2010-03-03

申请号：CN200920306699.9

申请日：2009-07-23

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 宋明歆 , 梅金硕 , 宋亮 , 殷景华 , 王东兴

IPC: H01H59/00

Abstract: 扭转梁电容式射频微机械开关，它涉及一种电容式射频微机械开关。针对目前电容式射频微机械(RF－MEMS)开关主要采用折叠梁或斜拉梁结构，电容式射频微机械开关存在着驱动电压过大，远远超过CMOS集成电路的标准电压5V问题。衬底的上端面与第一绝缘介质层的下端面连接，第一绝缘介质层的上端面分别与多个信号输出线连接，信号输出线的上端面与锚的下端面连接，悬臂梁由制成一体的挠度悬臂梁和扭转悬臂梁构成，挠度悬臂梁的一端固定在锚上，挠度悬臂梁的另一端与上电极的下端面连接。本实用新型用于控制高频信号的通断。

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