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公开(公告)号：CN111148860A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201780095302.3
申请日：2017-09-28
Applicant: 夏普株式会社
Inventor： 西口昌男
IPC: C23C14/24 , C23C14/00 , C23C14/56 , H05B33/10 , H05B33/14
Abstract: 蒸镀粒子射出装置(1)具备：第二蒸镀源(20)、及在Y轴方向上夹着第二蒸镀源的第一蒸镀源(10)和第三蒸镀源(30)。在第一蒸镀源及第三蒸镀源中，在X轴方向上排列着朝向第二蒸镀源倾斜的多个喷嘴(12、31)。在第二蒸镀源中，在X轴方向上排列着朝向第一蒸镀源倾斜的多个喷嘴(23)和朝向第三蒸镀源倾斜的多个喷嘴(22)。
公开(公告)号：CN111148860B
公开(公告)日：2022-02-11
公开(公告)号：CN111164232A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201780095325.4
IPC: C23C14/24 , H01L51/50 , H05B33/10
Abstract: 蒸镀源(1)具备：收容蒸镀粒子(11)的收容部(2)以及沿X轴方向排列为线状的多个喷嘴(3)，收容部的X轴方向端部的多个喷嘴朝着X轴方向端部向倾斜方向突出，收容部的X轴方向端部的喷嘴的配设密度比收容部的中央部的喷嘴的配设密度高，在收容部的X轴方向端部中，邻接的喷嘴的上端面(32)彼此连结的线(L2)为直线状。
公开(公告)号：CN111148861A
申请号：CN201780095328.8
Inventor： 山渕浩二 , 西口昌男
IPC: C23C14/24 , H05B33/10
Abstract: 掩模片(15)上所形成的有效部(YA)中的第一区域(YA1)针对被蒸镀基板的每个有源区域(3)而设且形状与有源区域(3)对应，有效部(YA)的第二区域(YA2)位于第一区域(YA1)外，并由支撑条(13)遮蔽多个蒸镀孔(H)。
公开(公告)号：CN111148861B
公开(公告)日：2022-03-22
