检测样品与参照物的物理可测特性之间的差异的高灵敏度方法

    公开(公告)号:CN101107509B

    公开(公告)日:2011-05-18

    申请号:CN200580047096.6

    申请日:2005-12-21

    Inventor: R·森斯 E·蒂尔

    CPC classification number: G01N17/004 G01J3/50

    Abstract: 本发明涉及一种检测样品P和参照物R的物理可测特性之间的差异的高灵敏度方法,其特征在于进行如下步骤:(i)提供样品P,(ii)提供参考样品R,(iii)提供二维参考场RF,(iv)从所述参考样品R和参考场RF的区域形成第一二维图形,并且从所述样品P和参考场RF的区域形成第二二维图形,所述第一和第二图形以位置相关和波长相关的图形函数M(x,y,λ)描述,(v)在可自由选择的时间t0对所述第一图形,以及在时间t对所述第二图形,通过检测器将所述第一图形和第二图形对分析辐射的透射、反射或散射分别检测为第一和第二图形的局部坐标(x,y)和分析辐射的波长λ的函数,从而确定所述第一图形的第一图形响应函数M0(x,y,λ,t0),其包括参考响应函数R0(x,y,λ,t0)的物理分割区和第一参考场响应函数RF0(x,y,λ,t0)的物理分割区,并确定第二图形的第二图形响应函数Mt(x,y,λ,t),其包括样品响应函数Pt(x,y,λ,t)的物理分割区和第二参考场响应函数RFt(x,y,λ,t)的物理分割区,每种情况下的函数M0和Mt将透射、反射或散射分析辐射的强度分别再现为在不同检测时间t0和t的第一和第二图形的局部坐标(x,y)和波长λ的函数,(vi)以如下方式校正样品响应函数Pt,即通过所述第一和第二参考场响应函数RF0和RFt,从所述样品响应函数Pt消除检测器引起的位置相关、时间相关以及波长相关的起伏,从而获得校正样品响应函数Pt,corr,(vii)从所述校正样品响应函数Pt,corr和参考响应函数R0确定物理可测特性的变化。

    用于检查货物真实性的方法

    公开(公告)号:CN101099177B

    公开(公告)日:2010-09-08

    申请号:CN200580046458.X

    申请日:2005-12-14

    Inventor: R·森斯 E·蒂尔

    CPC classification number: G07D7/004 G07D7/20

    Abstract: 本发明涉及一种用于检查货物真实性的方法,包括货物的标记和鉴定,根据本发明的方法:(i)在标记步骤中,具有图案函数M(x,y)的图案形式的标记被施加于所述货物表面,所述标记的区域中的所述货物表面的物理可测属性的局部改变由所述标记导致,并且所述标记是肉眼不可察觉的;(ii)在鉴定步骤中,所述货物表面附近的分析辐射的发射、反射或散射根据所述分析辐射的局部坐标(x,y)和波长λ来检测,并且用这样的方法确定响应函数A(x,y,λ),该响应函数根据所述局部坐标(x,y)和波长λ重现所述被发射、反射或散射的分析辐射的强度,并且,借助于相关性分析确定响应函数A(x,y,λ)与已知图案函数M(x,y)的相关性,所述标记借助于所述相关性来检测。

    用于检查货物真实性的方法

    公开(公告)号:CN101099177A

    公开(公告)日:2008-01-02

    申请号:CN200580046458.X

    申请日:2005-12-14

    Inventor: R·森斯 E·蒂尔

    CPC classification number: G07D7/004 G07D7/20

    Abstract: 本发明涉及一种用于检查货物真实性的方法,包括货物的标记和鉴定,根据本发明的方法:(i)在标记步骤中,具有图案函数M(x,y)的图案形式的标记被施加于所述货物表面,所述标记的区域中的所述货物表面的物理可测属性的局部改变由所述标记导致,并且所述标记是肉眼不可察觉的;(ii)在鉴定步骤中,所述货物表面附近的分析辐射的发射、反射或散射根据所述分析辐射的局部坐标(x,y)和波长λ来检测,并且用这样的方法确定响应函数A(x,y,λ),该响应函数根据所述局部坐标(x,y)和波长λ重现所述被发射、反射或散射的分析辐射的强度,并且,借助于相关性分析确定响应函数A(x,y,λ)与已知图案函数M(x,y)的相关性,所述标记借助于所述相关性来检测。

    检测样品因环境影响导致的物理可测性质改变的方法

    公开(公告)号:CN100425971C

    公开(公告)日:2008-10-15

    申请号:CN200480023774.0

    申请日:2004-08-17

    CPC classification number: G01N17/004 G01N21/00

    Abstract: 本发明涉及一种检测样品因环境影响导致的物理可测性质改变的方法。根据所述方法:(i)使样品在曝光期间经受环境影响,其中该环境影响以已知依赖于位置的、以模型函数M(x,y)为基础的强度分布I(x,y)(强度模型)作用于样品,(ii)根据样品位置坐标(x,y)和分析辐射波长检测分析辐射因样品导致的透射、反射或散射,由此确定响应函数A(x,y),该函数根据样品位置坐标(x,y)和波长再现透射、反射或散射的分析辐射的强度,以及(iii)环境影响的已知依赖于位置的强度分布I(x,y)或其基于的模型函数M(x,y)与响应函数A(x,y,λ)之间的相关性通过相关分析确定,该相关性是样品因环境影响导致的物理可测性质改变的量度。

    检测样品与参照物的物理可测特性之间的差异的高灵敏度方法

    公开(公告)号:CN101107509A

    公开(公告)日:2008-01-16

    申请号:CN200580047096.6

    申请日:2005-12-21

    Inventor: R·森斯 E·蒂尔

    CPC classification number: G01N17/004 G01J3/50

    Abstract: 本发明涉及一种检测样品P和参照物R的物理可测特性之间的差异的高灵敏度方法,其特征在于进行如下步骤:(i)提供样品P,(ii)提供参考样品R,(iii)提供二维参考场RF,(iv)从所述参考样品R和参考场RF的区域形成第一二维图形,并且从所述样品P和参考场RF的区域形成第二二维图形,所述第一和第二图形以位置相关和波长相关的图形函数M(x,y,λ)描述,(v)在可自由选择的时间t0对所述第一图形,以及在时间t对所述第二图形,通过检测器将所述第一图形和第二图形对分析辐射的透射、反射或散射分别检测为第一和第二图形的局部坐标(x,y)和分析辐射的波长λ的函数,从而确定所述第一图形的第一图形响应函数M0(x,y,λ,t0),其包括参考响应函数R0(x,y,λ,t0)的物理分割区和第一参考场响应函数RF0(x,y,λ,t0)的物理分割区,并确定第二图形的第二图形响应函数Mt(x,y,λ,t),其包括样品响应函数Pt(x,y,λ,t)的物理分割区和第二参考场响应函数RFt(x,y,λ,t)的物理分割区,每种情况下的函数M0和Mt将透射、反射或散射分析辐射的强度分别再现为在不同检测时间t0和t的第一和第二图形的局部坐标(x,y)和波长λ的函数,(vi)以如下方式校正样品响应函数Pt,即通过所述第一和第二参考场响应函数RF0和RFt,从所述样品响应函数Pt消除检测器引起的位置相关、时间相关以及波长相关的起伏,从而获得校正样品响应函数Pt,corr,(vii)从所述校正样品响应函数Pt,corr和参考响应函数R0确定物理可测特性的变化。

    借助测量光谱与参照光谱的互相关来测定均匀分布在介质中的化学物质的存在的方法

    公开(公告)号:CN1989408A

    公开(公告)日:2007-06-27

    申请号:CN200580024980.8

    申请日:2005-07-19

    CPC classification number: G01N21/359 G01N33/2882 G01N2021/3196

    Abstract: 本发明涉及一种测定均匀分布在介质中的至少一种化学物质V′的同一性或非同一性的方法,其通过:a)将含有至少一种均匀分布的化学物质V′的介质曝露于具有可变波长λ的分析辐射中,和b)借助吸收、反射、发射和/或散射的辐射来确定光谱测量函数I′(λ)。本发明方法特征在于根据方程式I确定相关函数K(δλ,c′,c),其中K(δλ,c′,c)表示取决于函数I′(λ,c′)和I(λ,c)的相对位移δλ及至少一种化学物质V′及V的浓度c′及c的相关性;c′表示均匀分布在介质中的具有已知或待定同一性的至少一种化学物质V′的浓度;c表示均匀分布在介质中的具有已知同一性的至少一种化学物质V的浓度,I′(λ,c′)表示具有浓度c′的至少一种均匀分布在介质中的化学物质V′的测量函数,I(λ,c)表示具有浓度c的至少一种均匀分布在介质中的化学物质V的比较函数,和N表示标准化因子,并借助相关函数K(δλ,c′,c)测定化学物质V′与V之间的同一性或非同一性。

    检测样品因环境影响导致的物理可测性质改变的方法

    公开(公告)号:CN1839305A

    公开(公告)日:2006-09-27

    申请号:CN200480023774.0

    申请日:2004-08-17

    CPC classification number: G01N17/004 G01N21/00

    Abstract: 本发明涉及一种检测样品因环境影响导致的物理可测性质改变的方法。根据所述方法:(i)使样品在曝光期间经受环境影响,其中该环境影响以已知依赖于位置的、以模型函数M(x,y)为基础的强度分布I(x,y)(强度模型)作用于样品,(ii)根据样品位置坐标(x,y)和分析辐射波长检测分析辐射因样品导致的透射、反射或散射,由此确定响应函数A(x,y),该函数根据样品位置坐标(x,y)和波长再现透射、反射或散射的分析辐射的强度,以及(iii)环境影响的已知依赖于位置的强度分布I(x,y)或其基于的模型函数M(x,y)与响应函数A(x,y,λ)之间的相关性通过相关分析确定,该相关性是样品因环境影响导致的物理可测性质改变的量度。

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