动静结合稀释仪及其工作方法

    公开(公告)号:CN112705059A

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN202011637174.0

    申请日:2020-12-31

    Abstract: 本发明涉及一种动静结合稀释仪及其工作方法,动静结合稀释仪包括静态稀释组件、动态稀释组件、气源组件与稀释模式切换组件。当工作于静态稀释模式时,稀释模式切换组件动作,实现第一储存罐与第一进气管连通,以及第二储存罐与第二进气管连通。第一气路控制件控制第一进气管与第一出气管相连通,以将稀释气体通入到苏玛罐内。当工作于动态稀释模式时,稀释模式切换组件动作,实现第一储存罐与第一输气管连通,以及第二储存罐与第二输气管连通,第一输气管上的流量计打开到预设开度,第二输气管上的流量计打开到预设开度,能实现定量的稀释气体与定量的高标气均同步通入到第一混合腔与排气总管内动态混合得到预标气。

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