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公开(公告)号：CN104415884B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201410446969.1
申请日：2014-09-03
Applicant: 斯克林集团公司
Abstract: 本发明提供一种对基板有效率且有效地形成流动性材料的非涂布区域的涂布装置及涂布方法。涂布装置(1)在基板(P)上形成未涂布有机电致发光液(3)的非涂布区域。涂布装置(1)包括：平台(21)，保持基板(P)；喷嘴单元(50)，朝向基板(P)的主面喷出有机电致发光液(3)；喷嘴移动机构(51)平台移动机构(26)，使喷嘴单元(50)相对于由平台(21)保持的基板(P)而在主扫描方向(X轴方向)及副扫描方向(+Y方向)上相对移动；以及掩模机构(6)，以与基板(P)的主面中的和非涂布区域对应的部分相向的方式配备掩模带(611)，并且使所述掩模带(611)配合基板(P)的移动而移动。
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公开(公告)号：CN102992641B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201210210429.4
申请日：2012-06-20
Applicant: 斯克林集团公司
Abstract: 本发明提供一种能够抑制从移动的喷嘴喷出的处理液的流量发生变动的技术。基板处理装置具有：基板保持部，其将基板保持为大致水平；主扫描机构，其具有沿着大致平行于基板的主扫描方向延伸的主扫描机构引导部、被主扫描机构引导部支撑且能够沿着主扫描方向移动的滑块；喷出部，其被滑块支撑且能够沿着主扫描方向移动，并用于向基板喷出涂敷液；挠性的涂敷液配管，其与喷出部连接且向喷出部引导涂敷液；可动配管支撑部，其支撑涂敷液配管的非端部部分，并且可动配管支撑部的朝向随着主扫描的反复进行引起的滑块周期性运动而周期性地变化。
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公开(公告)号：CN104841607A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510053016.3
申请日：2015-02-02
Applicant: 斯克林集团公司
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，在利用涂布液供给管对移动的喷嘴输送涂布液的构成中，可减少从喷嘴喷出的涂布液的流量紊乱。相对地固定配置于涂布单元(50)的配管(832～834)是沿着与涂布单元(50)的移动方向(X方向)正交的YZ面内而配设。因此，可有效防止如下情况：因由往返移动所引起的惯性力，而导致在配管(832～834)的内部流动的涂布液产生流路方向的压力变动。另外，因为配管(832、833)作为压力变动吸收部发挥功能，所以可吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动。如此，能够使压力变动已减少的涂布液从连接于配管(834)的喷嘴喷出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102950087B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210194033.5
申请日：2012-06-13
Applicant: 斯克林集团公司
Abstract: 本发明提供一种涂敷装置，涂敷装置即使在通过挠性的涂敷液供给管，从涂敷液贮存部向进行往复移动的喷嘴输送涂敷液的情况下，也能够将涂敷液的流量维持恒定来均匀地涂敷涂敷液。压力变动吸收机构（70）具有压力吸收部（71）和流量抑制部（72）。压力吸收部（71）由薄壁的树脂制的软管（73）构成，通过随着从涂敷液供给管（64）输送的涂敷液的压力变动而发生弹性变形来使涂敷液容置部的体积变化。另外，流量抑制部（72）由内径比涂敷液供给管（64）的内径和软管（73）的内径小即具有更小的节流孔厚壁的树脂制的硬管（74）构成。
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公开(公告)号：CN104415884A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201410446969.1
申请日：2014-09-03
Applicant: 斯克林集团公司
Abstract: 本发明提供一种对基板有效率且有效地形成流动性材料的非涂布区域的涂布装置及涂布方法。涂布装置(1)在基板(P)上形成未涂布有机电致发光液(3)的非涂布区域。涂布装置(1)包括：平台(21)，保持基板(P)；喷嘴单元(50)，朝向基板(P)的主面喷出有机电致发光液(3)；喷嘴移动机构(51)平台移动机构(26)，使喷嘴单元(50)相对于由平台(21)保持的基板(P)而在主扫描方向(X轴方向)及副扫描方向(+Y方向)上相对移动；以及掩模机构(6)，以与基板(P)的主面中的和非涂布区域对应的部分相向的方式配备掩模带(611)，并且使所述掩模带(611)配合基板(P)的移动而移动。
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公开(公告)号：CN104841607B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201510053016.3
申请日：2015-02-02
Applicant: 斯克林集团公司
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，在利用涂布液供给管对移动的喷嘴输送涂布液的构成中，可减少从喷嘴喷出的涂布液的流量紊乱。相对地固定配置于涂布单元(50)的配管(832～834)是沿着与涂布单元(50)的移动方向(X方向)正交的YZ面内而配设。因此，可有效防止如下情况：因由往返移动所引起的惯性力，而导致在配管(832～834)的内部流动的涂布液产生流路方向的压力变动。另外，因为配管(832、833)作为压力变动吸收部发挥功能，所以可吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动。如此，能够使压力变动已减少的涂布液从连接于配管(834)的喷嘴喷出。
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公开(公告)号：CN104511396B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201410381793.6
申请日：2014-08-05
Applicant: 斯克林集团公司
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其可减少被废弃的涂布液的量且提高涂布效率。多个喷嘴包括：第一喷嘴群，在主扫描方向上隔开规定的间隔而排列；以及第二喷嘴群，相对于所述第一喷嘴群而与基板的主面平行且在副扫描方向上隔开间隔而排列。间距调整机构包括：对第一喷嘴群的喷嘴加以保持的滑动格，对第二喷嘴群的喷嘴加以保持的滑动格，从副扫描方向的一侧抵接于滑动格的杆，从副扫描方向的另一侧将滑动格向杆赋能的喷嘴赋能机构，以及对杆的副扫描方向的位置进行调整的驱动机构。
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公开(公告)号：CN104511396A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201410381793.6
申请日：2014-08-05
Applicant: 斯克林集团公司
CPC classification number: B05C5/027
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其可减少被废弃的涂布液的量且提高涂布效率。多个喷嘴包括：第一喷嘴群，在主扫描方向上隔开规定的间隔而排列；以及第二喷嘴群，相对于所述第一喷嘴群而与基板的主面平行且在副扫描方向上隔开间隔而排列。间距调整机构包括：对第一喷嘴群的喷嘴加以保持的滑动格，对第二喷嘴群的喷嘴加以保持的滑动格，从副扫描方向的一侧抵接于滑动格的杆，从副扫描方向的另一侧将滑动格向杆赋能的喷嘴赋能机构，以及对杆的副扫描方向的位置进行调整的驱动机构。
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