减少焦平面变形的光束聚焦装置和方法

    公开(公告)号:CN101896852B

    公开(公告)日:2013-11-06

    申请号:CN200880108066.5

    申请日:2008-07-21

    CPC classification number: B29C64/135

    Abstract: 本发明公开了一种可用于多光子立体光刻成型的光束聚焦系统。该系统包括一个用于调节光束散度的准直仪或光束扩展器,以及一个用于将光束导向聚焦装置从而将光束聚焦在焦点或束腰上并对聚焦光束进行扫描的扫描器。设有一个控制器来控制光束散度的调节,从而使焦点或束腰充分扫描在一个平面上。设有一个光源来产生光束。光束扩展器可以由一个散光透镜和一个聚光透镜组成,用于扩展光束以产生准直光束。准直光束的散度取决于所述散光透镜与所述聚光透镜之间的距离,该距离可以进行调节从而对光束散度进行调节。聚焦装置可以包括一个干燥的物镜,从而将准直光束聚焦在目标材料上以诱发目标材料在聚焦光束的束腰处发生多光子吸收。

    使用光固化组合物的双光子立体光刻成型

    公开(公告)号:CN101896868A

    公开(公告)日:2010-11-24

    申请号:CN200880108078.8

    申请日:2008-07-21

    CPC classification number: B29C64/135

    Abstract: 双光子立体光刻成型可以使用一种光固化材料和光引发剂来实现,所述的光固化材料包括(甲基)丙烯酸酯官能度至少为3且分子量(MW)至少为650的聚(甲基)丙烯酸酯,(甲基)丙烯酸酯官能度为2~4且分子量为400~10,000的聚氨酯(甲基)丙烯酸酯以及由双酚A或双酚F制得的双(甲基)丙烯酸酯。将光束聚焦在材料的聚焦区域中,从而在聚焦区域中引发双光子吸收,并由此引发聚焦区域中的材料发生聚合反应。根据一个预选的图案将光束扫描穿过所述的材料,从而将光束聚焦在不同的预选区域中,以引发所述材料在所述预选区域上发生聚合反应。

    减少焦平面变形的光束聚焦装置和方法

    公开(公告)号:CN101896852A

    公开(公告)日:2010-11-24

    申请号:CN200880108066.5

    申请日:2008-07-21

    CPC classification number: B29C64/135

    Abstract: 本发明公开了一种可用于多光子立体光刻成型的光束聚焦系统。该系统包括一个用于调节光束散度的准直仪或光束扩展器,以及一个用于将光束导向聚焦装置从而将光束聚焦在焦点或束腰上并对聚焦光束进行扫描的扫描器。设有一个控制器来控制光束散度的调节,从而使焦点或束腰充分扫描在一个平面上。设有一个光源来产生光束。光束扩展器可以由一个散光透镜和一个聚光透镜组成,用于扩展光束以产生准直光束。准直光束的散度取决于所述散光透镜与所述聚光透镜之间的距离,该距离可以进行调节从而对光束散度进行调节。聚焦装置可以包括一个干燥的物镜,从而将准直光束聚焦在目标材料上以诱发目标材料在聚焦光束的束腰处发生多光子吸收。

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