公开(公告)号：CN1247380A

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：CN99110380.7

申请日：1999-07-15

Applicant: 日本皮拉工业株式会社

Inventor： 大多和一彦 ,  福元敏行 ,  川上裕章

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24D13/14 ,  B24B37/04 ,  B24D13/12

Abstract: 一种研磨片,其将微小直径的筒状的多个树脂制的研磨部件通过在它们的轴线方向端面处于同一平面上的状态,这些部件的外周面之间不能分离地连接的方式,最终成整体形成按照一定规则分散有沿厚度方向贯通的微小孔,即孔的平板结构物。研磨片的研磨作用面由研磨部件的轴线方向的端面形成。第1孔由研磨部件的中心孔构成。第2孔由研磨部件的外周面之间的间隙构成。

公开(公告)号：CN1145201C

公开(公告)日：2004-04-07

申请号：CN99110380.7

申请日：1999-07-15

Applicant: 日本皮拉工业株式会社

Inventor： 大多和一彦 ,  福元敏行 ,  川上裕章

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/04 ,  B24D13/12 ,  B24D13/14

CPC classification number: B24D13/14 ,  B24B37/04 ,  B24D13/12

Abstract: 一种研磨片，其将微径的筒状的多个树脂制的研磨元件通过在它们的轴线方向端面处于同一平面上的状态，这些元件的外周面之间不可分离地连接的方式，最终成整体形成按照一定规则分散有沿厚度方向贯通的微孔，即孔的平板结构物。研磨片的研磨作用面由研磨元件的轴线方向的端面形成。第1孔由研磨元件的中心孔构成。第2孔由研磨元件的外周面之间的间隙构成。