公开(公告)号：CN103003054A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201180034592.3

申请日：2011-07-06

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  宫坂顺子 ,  中西博志

IPC: B29C59/02 ,  C03C19/00 ,  B29C33/38 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076

CPC classification number: B29D11/00769 ,  B24B9/10 ,  B29C59/002 ,  B29C59/026 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C19/00 ,  C03C2201/42 ,  C03C2204/08 ,  G03F7/0002 ,  Y10T428/24355

Abstract: 本发明涉及一种压印模具用含TiO2石英玻璃基材，具有主表面和侧面，其中，所述侧面的算术平均粗糙度(Ra)为1nm以下，所述侧面的10μm至1mm波长范围的凹凸的均方根(MSFR_rms)为10nm以下。

公开(公告)号：CN103003054B

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201180034592.3

申请日：2011-07-06

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  宫坂顺子 ,  中西博志

IPC: B29C59/02 ,  C03C19/00 ,  B29C33/38 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076

CPC classification number: B29D11/00769 ,  B24B9/10 ,  B29C59/002 ,  B29C59/026 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C19/00 ,  C03C2201/42 ,  C03C2204/08 ,  G03F7/0002 ,  Y10T428/24355

Abstract: 本发明涉及一种压印模具用含TiO2石英玻璃基材，具有主表面和侧面，其中，所述侧面的算术平均粗糙度(Ra)为1nm以下，所述侧面的10μm至1mm波长范围的凹凸的均方根(MSFR_rms)为10nm以下。