公开(公告)号：CN103548097A

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201280023895.X

申请日：2012-05-17

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 吉冈和久 ,  富田伦央 ,  森野正行

IPC: H01B5/14 ,  B32B7/02 ,  C23C14/08 ,  H01B13/00

CPC classification number: H01B5/14 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3492 ,  G06F3/041 ,  G06F2203/04103 ,  Y10T428/2495 ,  Y10T428/31786

Abstract: 本发明提供一种能得到具有结晶性、且厚度和薄膜电阻处于良好的范围内的结晶性透明导电膜的导电膜用原材料。导电膜用原材料(1)包括透明基材(2)、第一非晶质层(4)和第二非晶质层(5)。这里，第一非晶质层(4)层叠在透明基材(2)上，由含有以氧化物换算为2质量％以上15质量％以下的锡的铟锡氧化物构成。第二非晶质层(5)层叠在第一非晶质层(4)上，由含有以氧化物换算为2质量％以上15质量％以下的锡的铟锡氧化物构成，且锡的以氧化物换算的含量与所述第一非晶质层(4)中的锡的以氧化物换算的含量不同。

公开(公告)号：CN105723473A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201480062021.4

申请日：2014-10-28

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 吉冈和久 ,  森野正行 ,  富田偏央

IPC: H01B5/14 ,  B32B9/00 ,  G06F3/041

CPC classification number: G06F3/041 ,  B32B27/08 ,  B32B27/283 ,  B32B2255/10 ,  B32B2255/205 ,  B32B2307/202 ,  B32B2307/412 ,  B32B2307/714 ,  B32B2457/20 ,  G06F2203/04103

Abstract: 本发明提供一种透明导电性层叠体，是在基材上层叠有透明导电膜而成的透明导电性层叠体，在确保基材与透明导电膜的密合性的同时保持透明导电膜的电特性，而且透光特性良好，耐试剂性优异。另外提供具备上述透明导电性层叠体的可靠性高的触摸面板。一种透明导电性层叠体和具备该透明导电性层叠体的触摸面板，该透明导电性层叠体具有透明基材、设置在上述透明基材的一个主面上的厚度为3～60nm的SiOx1层(其中，x1为1.8以上且小于2.0)、设置在上述SiOx1层上的厚度为0.2～5nm的SiOx2层(其中，x2为1.9～2.0且大于x1)、和设置在上述SiOx2层上的以氧化铟锡为主体的导电层。

公开(公告)号：CN106165025A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201580019590.5

申请日：2015-04-09

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 吉冈和久 ,  真下尚洋

IPC: H01B5/14 ,  B32B9/00 ,  G06F3/041

CPC classification number: B32B9/00 ,  G06F3/041 ,  H01B5/14

Abstract: 本发明提供一种利用热处理的铟锡氧化物膜的结晶化良好且结晶化后的铟锡氧化物膜的薄层电阻变小的层叠体。层叠体具有透明基材和铟锡氧化物层。铟锡氧化物层层叠在透明基材上且主要由非晶质的铟锡氧化物构成。铟锡氧化物层具有0.60at％以下的氢浓度。另外，铟锡氧化物层的热处理温度150℃和热处理时间30分钟的热处理后的薄层电阻成为200Ω/□以下。