公开(公告)号：CN106881663A

公开(公告)日：2017-06-23

申请号：CN201510936899.2

申请日：2015-12-15

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 吉宗大介 ,  曹继尧 ,  秋庭一树

IPC: B24B37/04 ,  C03C19/00

CPC classification number: B24B37/042 ,  B24B37/044 ,  C03C19/00

Abstract: 一种磁记录介质用玻璃基板的制造方法，能在对主表面进行研磨的工序中抑制在主表面产生线状损伤。该磁记录介质用玻璃基板的制造方法具有对磁记录介质用玻璃基板的主表面进行研磨的主表面研磨工序，所述主表面研磨工序依次包括：第一主表面研磨步骤，在该第一主表面研磨步骤中，将研磨片压紧于磁记录介质用玻璃基板的主表面，一边供给研磨液，一边使所述磁记录介质用玻璃基板及所述研磨片旋转，以对所述主表面进行研磨；第一动态水清洗步骤，在该第一动态水清洗步骤中，供给水以代替研磨液，并使所述磁记录介质用玻璃基板及所述研磨片旋转以进行清洗；以及第二主表面研磨步骤，在该第二主表面研磨步骤中，供给研磨液以代替水，并使所述磁记录介质用玻璃基板及所述研磨片旋转，以对所述主表面进行研磨。