公开(公告)号：CN102019579B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201010287381.8

申请日：2010-09-17

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 木村宏 ,  池田训仁展 ,  山口龙

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/005

CPC classification number: G11B5/7315 ,  B24B37/005 ,  B24B37/042 ,  B24B37/08 ,  B24B49/10 ,  G11B5/8404 ,  Y10T428/24479

Abstract: 本发明提供一种玻璃基板的制造方法、研磨方法及研磨装置以及玻璃基板，能够提高玻璃基板的研磨精度。该研磨装置具备：驱动上平台(40)的电动机、驱动下平台(30)的电动机、驱动设于下平台(30)的内周的内侧的太阳齿轮的电动机、驱动设于下平台(30)的外周的外侧的内啮合齿轮的电动机、以及控制这些电动机的控制部(90)，控制部(90)通过控制这些电动机的驱动而对玻璃基板进行研磨，其特征在于，控制部(90)基于这些电动机的驱动所需的电力或者电力量调整玻璃基板的研磨。

公开(公告)号：CN102019579A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN201010287381.8

申请日：2010-09-17

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 木村宏 ,  池田训仁展 ,  山口龙

IPC: B24B37/04 ,  B24B51/00

CPC classification number: G11B5/7315 ,  B24B37/005 ,  B24B37/042 ,  B24B37/08 ,  B24B49/10 ,  G11B5/8404 ,  Y10T428/24479

Abstract: 本发明提供一种玻璃基板的制造方法、研磨方法及研磨装置以及玻璃基板，能够提高玻璃基板的研磨精度。该研磨装置具备：驱动上平台(40)的电动机、驱动下平台(30)的电动机、驱动设于下平台(30)的内周的内侧的太阳齿轮的电动机、驱动设于下平台(30)的外周的外侧的内啮合齿轮的电动机、以及控制这些电动机的控制部(90)，控制部(90)通过控制这些电动机的驱动而对玻璃基板进行研磨，其特征在于，控制部(90)基于这些电动机的驱动所需的电力或者电力量调整玻璃基板的研磨。