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公开(公告)号：CN1241672C
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：CN01801169.1
申请日：2001-05-24
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: B01D53/02 , B01D53/685 , B01D53/8659 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2253/112 , B01D2253/304 , B01D2253/306 , B01D2255/20738 , B01D2257/20 , B01D2258/0216 , B01J21/18 , B01J23/78 , Y02C20/30
Abstract: 本发明涉及提供一种除去有害气体的试剂和方法，它们对制造半导体器件过程的蚀刻或清洗步骤的废气中包含的含卤素气体具有高的单位体积除去能力，而且价格低廉。本发明特点是使用包括一定量的特定氧化铁、碱土金属化合物和活性炭的除害剂可以除去含卤素气体。当废气中包含如氯的含卤素气体或如二氧化硫的气体时，通过组合使用包括活性炭或沸石的除害剂，可以使这些气体无害。
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公开(公告)号：CN104056547A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410103925.9
申请日：2014-03-19
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: Y02C20/30 , Y02P70/605
Abstract: 本发明提供能够从分解气体更切实地除去酸成分，并且能够减少用于干式除去酸成分的药剂的消耗量的过氟化物处理装置等。一种过氟化物处理装置（2），其特征在于，具备：对装置入口排气以及水进行加热，并且利用预先确定的催化剂水解过氟化物而生成含有HF的分解气体的加热单元（第1加热器（221）、第2加热器（222））；配置在加热单元的前段和后段，在装置入口排气以及水与分解气体之间进行热交换的热交换器（231）；利用药剂从分解气体干式除去HF的酸成分除去装置（232）；检测从酸成分除去装置（232）流出的排气中所含的HF的浓度的HF浓度传感器（236）；和执行向酸成分除去装置（232）进行药剂的排出以及供给的控制的控制装置（24）。
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公开(公告)号：CN1372488A
公开(公告)日：2002-10-02
申请号：CN01801169.1
申请日：2001-05-24
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: B01D53/02 , B01D53/685 , B01D53/8659 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2253/112 , B01D2253/304 , B01D2253/306 , B01D2255/20738 , B01D2257/20 , B01D2258/0216 , B01J21/18 , B01J23/78 , Y02C20/30
Abstract: 本发明涉及提供一种除去有害气体的试剂和方法,它们对制造半导体器件过程的蚀刻或清洗步骤的废气中包含的含卤素气体具有高的单位体积除去能力,而且价格低廉。本发明特点是使用包括一定量的特定氧化铁、碱土金属化合物和活性炭的除害剂可以除去含卤素气体。当废气中包含如氯的含卤素气体或如二氧化硫的气体时,通过组合使用包括活性炭或沸石的除害剂,可以使这些气体无害。
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公开(公告)号：CN104108736B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201410151914.8
申请日：2014-04-16
Applicant: 昭和电工株式会社
IPC: C01F11/22
CPC classification number: Y02P20/129
Abstract: 本发明提供一种难以产生含有酸成分的排水、能量的利用效率更好的氟化钙的制造方法。所述氟化钙的制造方法，其特征在于，具备：加热工序（K2），该工序对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用催化剂水解过氟化物来生成含有酸性气体的分解气体；热交换工序（K3），该工序在流入加热工序（K2）之前的含有装置入口排气以及水与从加热工序（K2）流出后的分解气体之间进行热交换；以及氟化钙生成工序（K4），该工序使从热交换工序（K3）流出后的分解气体中所含的酸成分与钙盐反应生成氟化钙。
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公开(公告)号：CN104108736A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410151914.8
申请日：2014-04-16
Applicant: 昭和电工株式会社
IPC: C01F11/22
CPC classification number: Y02P20/129
Abstract: 本发明提供一种难以产生含有酸成分的排水、能量的利用效率更好的氟化钙的制造方法。所述氟化钙的制造方法，其特征在于，具备：加热工序（K2），该工序对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用催化剂水解过氟化物来生成含有酸性气体的分解气体；热交换工序（K3），该工序在流入加热工序（K2）之前的含有装置入口排气以及水与从加热工序（K2）流出后的分解气体之间进行热交换；以及氟化钙生成工序（K4），该工序使从热交换工序（K3）流出后的分解气体中所含的酸成分与钙盐反应生成氟化钙。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103889553B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201280050982.4
申请日：2012-10-15
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: B01D53/75 , B01D53/70 , B01D53/8662 , B01D2251/404 , B01D2255/2065 , B01D2255/20707 , B01D2255/20746 , B01D2255/20753 , B01D2255/20784 , B01D2255/20792 , B01D2255/2094 , B01D2257/2066 , B01D2258/0216 , Y02C20/30
Abstract: 本发明的课题在于提供如下过氟化物的处理方法以及过氟化物处理装置：其能够能效良好地防止热交换器的配管的腐蚀，除此之外，能够削减废水量，效率良好地回收高纯度的氟化钙。进而，提供设备以及设置场所小、效率良好的过氟化物处理装置。本发明将包含过氟化物的废气和水或水蒸气向热交换器（2）供给，通过与高温的分解气体热交换来预热，并进一步加热，利用催化剂（12）分解。在将包含氟化氢气体的分解气体用热交换器（2）冷却后，在酸性气体除去装置（31）内使氟化氢气体与钙盐反应，能够得到高纯度的氟化钙。基于来自酸性气体除去装置的排气中的氟化钙浓度或者该装置内的钙盐的温度，控制钙盐的供给以及排出。
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公开(公告)号：CN102281939B
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201080004458.4
申请日：2010-02-25
Applicant: 昭和电工株式会社
Inventor： 早坂裕二
CPC classification number: B01D53/8662 , B01D53/70 , B01D2251/402 , B01D2251/404 , B01D2251/406 , B01D2251/408 , B01D2251/602 , B01D2251/604 , B01D2251/606 , B01D2255/204 , B01D2255/20723 , B01D2255/20761 , B01D2255/20769 , B01D2255/20776 , B01D2255/2092 , B01D2257/2066 , B01D2258/0216 , Y02C20/30
Abstract: 本发明通过反应装置10，提供了容易小型化、并且内部温度分布更加均匀、不易出现反应不均的反应装置。所述反应装置10的特征在于，包括：在其内部进行反应的外筒12，配置在外筒12一端部侧、在被处理气体和处理过的气体之间进行热交换的热交换器16，向热交换器16供给被处理气体的双重管14的内管14a，从热交换器16取出处理过的气体的双重管14的外管14b，与热交换器16连接、配置在外筒12内部、使被处理气体向与配置有热交换器16的端部侧远离开的外筒12的另一端部侧流通的内筒18。
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公开(公告)号：CN102281939A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201080004458.4
申请日：2010-02-25
Applicant: 昭和电工株式会社
Inventor： 早坂裕二
CPC classification number: B01D53/8662 , B01D53/70 , B01D2251/402 , B01D2251/404 , B01D2251/406 , B01D2251/408 , B01D2251/602 , B01D2251/604 , B01D2251/606 , B01D2255/204 , B01D2255/20723 , B01D2255/20761 , B01D2255/20769 , B01D2255/20776 , B01D2255/2092 , B01D2257/2066 , B01D2258/0216 , Y02C20/30
Abstract: 本发明通过反应装置10，提供了容易小型化、并且内部温度分布更加均匀、不易出现反应不均的反应装置。所述反应装置10的特征在于，包括：在其内部进行反应的外筒12，配置在外筒12一端部侧、在被处理气体和处理过的气体之间进行热交换的热交换器16，向热交换器16供给被处理气体的双重管14的内管14a，从热交换器16取出处理过的气体的双重管14的外管14b，与热交换器16连接、配置在外筒12内部、使被处理气体向与配置有热交换器16的端部侧远离开的外筒12的另一端部侧流通的内筒18。
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公开(公告)号：CN104107623B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201410152775.0
申请日：2014-04-16
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: Y02C20/30
Abstract: 本发明提供能够从分解气体更切实地除去酸成分，并且能够更顺利地进行用于干式除去酸成分的药剂的更换的过氟化物处理装置等。一种过氟化物处理装置，其特征在于，具备：加热单元，其对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并利用催化剂水解过氟化物，生成分解气体；配置在加热单元的前段以及后段的热交换单元；和干式除去分解气体中的酸成分的酸成分除去单元，酸成分除去单元在装置底部具备：能够开闭，且在成为打开了的状态时取出反应后的药剂的闸门（251a～251e）（闸门（251））；和狭缝部（252），其配置于闸门（251）之间，具有从上方朝向闸门（251）的斜面（S1、S2），并且在斜面（S1、S2）上具有使分解气体通过而不使药剂通过的大小的狭缝（252a）。
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