公开(公告)号：CN113614902B

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202080021384.9

申请日：2020-03-12

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 尼克·雷·小莱恩巴格 ,  普拉哈拉德·纳拉辛格达斯·阿加瓦尔 ,  拉维库玛·萨达希夫·帕蒂尔 ,  达莫达尔·拉贾拉姆·尚巴格

IPC: H01L21/687 ,  H05B1/02 ,  B23K20/12 ,  H01L21/67

Abstract: 在一示例中，提供了一种用于衬底处理室的喷头基座组件。该喷头基座组件包括面板。平台被设置在该面板内，并且包括延伸通过该面板内至少一个沟槽的加热器元件。该至少一个沟槽的轮廓被设置成接纳该加热器元件的至少一部分。通过摩擦搅拌焊接的接合部将平台的周缘接合至面板的内表面上。

公开(公告)号：CN113614902A

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN202080021384.9

申请日：2020-03-12

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 尼克·雷·小莱恩巴格 ,  普拉哈拉德·纳拉辛格达斯·阿加瓦尔 ,  拉维库玛·萨达希夫·帕蒂尔 ,  达莫达尔·拉贾拉姆·尚巴格

IPC: H01L21/687 ,  H05B1/02 ,  B23K20/12 ,  H01L21/67

Abstract: 在一示例中，提供了一种用于衬底处理室的喷头基座组件。该喷头基座组件包括面板。平台被设置在该面板内，并且包括延伸通过该面板内至少一个沟槽的加热器元件。该至少一个沟槽的轮廓被设置成接纳该加热器元件的至少一部分。通过摩擦搅拌焊接的接合部将平台的周缘接合至面板的内表面上。