制造光波导的方法

    公开(公告)号:CN102016666B

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN200980114712.3

    申请日:2009-04-20

    CPC classification number: G02B6/138 G02B6/1221

    Abstract: 本发明的目的是通过使芯部的表面平滑来制造具有低的光损耗的光波导。为此,一种制造光波导的方法包括:在形成在基材(1)上的下覆层(2)的表面上形成光敏聚合物的芯部形成层(3)的芯部形成层形成步骤;通过对芯部形成层(3)的热处理降低芯部形成层(3)的表面粘度来使表面平滑的平滑步骤;和经过对被平滑的芯部形成层(3)的选择曝光来形成芯部的曝光步骤。

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