清洗干燥方法及装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1157351A

    公开(公告)日:1997-08-20

    申请号:CN96111460.6

    申请日:1996-09-03

    Inventor: 今田哲夫

    Abstract: 一种使清洗后的被清洗物旋转进行干燥的清洗干燥方法及装置,通过将被清洗物安装在置物台上并使其旋转,产生从被清洗物的旋转中心部沿被清洗物的正反面流向外周部的空气流,用该空气流除去被清洗物中心部的附着物。因此,即使不向被清洗物的正反面喷射干燥用的氮气,也能获得良好的清洗干燥状态,能适用于液晶显示器中所使用的玻璃基片等的清洗干燥。

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