公开(公告)号：CN101382581A

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200810213124.2

申请日：2005-06-01

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 石飞贵志 ,  大鸟隆志 ,  田中泰资

IPC: G01R31/28

Abstract: 本发明提供一种老化检测设备，该设备用于输出检测信号并且接收响应上述检测信号的PASS信号或FAIL信号来检测在半导体晶片上形成的多个半导体芯片，具有观测装置，该装置记录在检测时接收到上述FAIL信号的时刻和次数。在对晶片进行晶片测试时或在晶片测试之后，对于合格品在其端子以外的芯片表面上附加保护膜。对于不合格品在包括其端子的整个芯片表面上附加保护膜，在这种状态下进行老化检测，能切断对老化工序之前被确定为不合格的芯片的电源供给和信号施加。

公开(公告)号：CN101027766A

公开(公告)日：2007-08-29

申请号：CN200580032611.3

申请日：2005-06-01

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 石飞贵志 ,  大鸟隆志 ,  田中泰资

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/28

Abstract: 在对晶片进行晶片测试时或在晶片测试之后，对于合格品在其端子以外的芯片表面上附加保护膜。对于不合格品在包括其端子的整个芯片表面上附加保护膜，在这种状态下进行老化检测，能切断对老化工序之前被确定为不合格的芯片的电源供给和信号施加。另外，为了判断芯片是否为合格品还内置有自检电路，在芯片内部设置当判断为不合格品时停止芯片内部动作的功能或者将判断信号传送至老化检测设备，并由老化检测设备停止电源供给和信号施加，由此能切断对老化工序开始后确定为不合格的芯片的电源供给和信号施加。