负荷传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN100394155C

    公开(公告)日:2008-06-11

    申请号:CN200480001134.X

    申请日:2004-10-28

    Abstract: 负荷传感器具有:基板,在基板上形成的玻璃层,在玻璃层上形成的部线,在玻璃层上形成的调整层(3),在调整层(3)上形成、与布线连接的应变敏感电阻器(5)。调整层的热膨胀系数比玻璃层的热膨胀系数接近应变敏感电阻器的热膨胀系数。在该负荷传感器中,可以减少残留在电阻器内部的应力、抑制其电阻值的经时变化,所以,可以用一种电阻器,在各种热膨胀系数及形状、厚度的基板上形成,获得各种规格的负荷传感器。

    负荷传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN1701220A

    公开(公告)日:2005-11-23

    申请号:CN200480001134.X

    申请日:2004-10-28

    CPC classification number: G01L1/2287

    Abstract: 负荷传感器具有:基板,在基板上形成的玻璃层,在玻璃层上形成的部线,在玻璃层上形成的调整层(3),在调整层(3)上形成、与布线连接的应变敏感电阻器(5)。调整层的热膨胀系数比玻璃层的热膨胀系数接近应变敏感电阻器的热膨胀系数。在该负荷传感器中,可以减少残留在电阻器内部的应力、抑制其电阻值的经时变化,所以,可以用一种电阻器,在各种热膨胀系数及形状、厚度的基板上形成,获得各种规格的负荷传感器。

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