公开(公告)号：CN101925526A

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN200980103382.8

申请日：2009-01-14

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 八木周藏 ,  中根正雄 ,  礒端美伯

IPC: B65G49/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67259 ,  B65G49/064 ,  H01L21/67706

Abstract: 本发明的目的是提供一种提高安置布局灵活性的基板传送设备和基板检测装置。基板检测装置包括：投光器(41)，用于投射检查光(40)以穿过由传送带(26)传送的基板(4)的路径上的预定位置；受光器(42)，用于接收由投光器(41)投射的检查光(40)；和检测器(控制装置15)，用于当由传送带(26)传送的基板(4)抵达预定位置并且一部分检查光(40)被基板(4)阻挡时基于受光器(42)接收到的检查光(40)的接收光的数量的减小检测基板(4)抵达预定位置。在与由传送带(26)传送的基板(4)的传送方向垂直相交的方向上以及在传送带(26)的上表面和下表面被包括在一光路的状态下，检查光40从投光器(41)投射。受光器(42)接收在宽度方向通过传送带(26)的上下区域的检查光。