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公开(公告)号：CN101642896B
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN200910159091.2
申请日：2009-08-06
Applicant: 株式会社不二制作所
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及喷砂方法和装置，薄膜太阳能电池板及其加工方法。具体地，在采用细磨料的精细喷砂中，加工薄膜太阳能电池板等无需对于工件附接和分离掩膜以及清洗步骤。具有开口(22、42)的负压空间(20)和相对负压空间(40)以诸如薄膜太阳能电池板等的工件的运动允许间隔隔开对置，从而沿与工件的移动方向相同的方向面向一侧边。此外，当工件相对于在负压空间(20)中布置喷射孔(31)的喷枪(30)沿移动方向(T)相对移动时喷射细粒磨料，并且喷射至负压空间(20)和/或相对负压空间(40)中的细粒磨料和切削磨料以及例如薄膜层等的清除切屑经分别与空间(20，40)连通的抽吸装置(21a、21b)和/或相对抽吸装置(41)的中间作用被抽吸和回收。
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公开(公告)号：CN101740664A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910224599.6
申请日：2009-11-19
Applicant: 株式会社不二制作所
IPC: H01L31/18 , H01L31/042
CPC classification number: B24C1/04 , B24C1/086 , B24C9/003 , H01L31/022425 , H01L31/0392 , H01L31/186 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 具体地说，在采用细磨料的精细喷砂中，加工薄膜太阳能电池板等无需对于工件附接和分离掩膜以及清洗步骤。具有开口(22、42)的负压空间(20)和相对负压空间(40)以诸如薄膜太阳能电池板等的工件的运动允许间隔隔开对置，从而沿与工件的移动方向相同的方向面向一侧边。于是，从在负压空间(20)内布置喷射孔(31)的喷枪(30)喷射细磨料，工件相对于喷射孔沿移动方向(T)相对移动，在喷射细磨料时，压缩空气产生具有与工件的相对移动方向基本平行的扩散方向的气流，以进行吹气，因此通过与负压空间(20)和/或者相对负压空间(40)连通的抽吸装置的中间作用，从各负压空间内的空间抽吸并回收喷射的细磨料和切屑。
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公开(公告)号：CN101740664B
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN200910224599.6
申请日：2009-11-19
Applicant: 株式会社不二制作所
IPC: H01L31/18 , H01L31/042
CPC classification number: B24C1/04 , B24C1/086 , B24C9/003 , H01L31/022425 , H01L31/0392 , H01L31/186 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 具体地说，在采用细磨料的精细喷砂中，加工薄膜太阳能电池板等无需对于工件附接和分离掩膜以及清洗步骤。具有开口(22、42)的负压空间(20)和相对负压空间(40)以诸如薄膜太阳能电池板等的工件的运动允许间隔隔开对置，从而沿与工件的移动方向相同的方向面向一侧边。于是，从在负压空间(20)内布置喷射孔(31)的喷枪(30)喷射细磨料，工件相对于喷射孔沿移动方向(T)相对移动，在喷射细磨料时，压缩空气产生具有与工件的相对移动方向基本平行的扩散方向的气流，以进行吹气，因此通过与负压空间(20)和/或者相对负压空间(40)连通的抽吸装置的中间作用，从各负压空间内的空间抽吸并回收喷射的细磨料和切屑。
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公开(公告)号：CN101642896A
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：CN200910159091.2
申请日：2009-08-06
Applicant: 株式会社不二制作所
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及喷砂方法和装置，薄膜太阳能电池板及其加工方法。具体地，在采用细磨料的精细喷砂中，加工薄膜太阳能电池板等无需对于工件附接和分离掩膜以及清洗步骤。具有开口(22、42)的负压空间(20)和相对负压空间(40)以诸如薄膜太阳能电池板等的工件的运动允许间隔隔开对置，从而沿与工件的移动方向相同的方向面向一侧边。此外，当工件相对于在负压空间(20)中布置喷射孔(31)的喷枪(30)沿移动方向(T)相对移动时喷射细粒磨料，并且喷射至负压空间(20)和/或相对负压空间(40)中的细粒磨料和切削磨料以及例如薄膜层等的清除切屑经分别与空间(20，40)连通的抽吸装置(21a、21b)和/或相对抽吸装置(41)的中间作用被抽吸和回收。
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