公开(公告)号：CN1849453A

公开(公告)日：2006-10-18

申请号：CN200480025959.5

申请日：2004-01-30

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: F04B43/10

CPC classification number: F04B43/10

Abstract: 一种软管(20)，具有入口侧固定端(21)、出口侧固定端(22)、以及形成于二者之间的弹性变形部分(23)。弹性变形部分(23)具有凸弧部分(42)。在凸弧部分(42)中，三个顶点(41)在轴向以近似规则的间隔分隔开，该凸弧部分(42)以每个顶点(41)为变形中心以凸的形状向外弯曲，使得具有的曲率半径小于与顶点(41)相切的虚圆(S)的曲率半径。凹弧部分(43)在周向上在每个凸弧部分(42)之间连续形成，并且每个凹弧部分(43)以凹的形状向外弯曲。在弹性变形部分膨胀和收缩时，每个凸弧部分(42)在周向弹性变形，且凹弧部分(43)在径向弹性变形。

公开(公告)号：CN115213062B

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202210264148.0

申请日：2022-03-17

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: B05C11/10

Abstract: 一种液体供给装置，增加在设置有过滤器的液体供给路径中循环的液体量，提高液体中所含异物的减少量。液体供给装置(10)具有：第一泵(21)和第二泵(22)，分别设置在将液体收纳部(11)所收纳的液体供给到涂敷工具(13)的液体供给路径(12)中；过滤器(15)，过滤流向涂敷工具(13)的液体；以及返回通道(27)，将通过了过滤器的液体返回到液体收纳部(11)，在向返回通道(27)供给液体并停止向涂敷工具(13)供给液体的循环模式中，第一泵(21)和第二泵(22)中的任一个向返回通道(27)连续供给液体。

公开(公告)号：CN101187365A

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：CN200710153827.6

申请日：2007-09-12

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: F04B43/10

CPC classification number: F04B43/107 ,  F04B43/067

Abstract: 本发明提供了一种药液供给装置，该装置能够高精度地喷出药液，并且能够监测非压缩性介质是否从活塞和汽缸之间泄漏。泵(11)具有将泵室(17)和驱动室(18)隔开的柔性管(16)，通过在汽缸(12)的汽缸孔(33)内往复运动的活塞(34)将非压缩性介质(38)供给到驱动室(18)内。波纹管罩(64)设置在活塞(34)和汽缸(12)之间，由波纹管罩(64)形成与活塞(34)的滑动面相连的密封室(63)。为了对封入到密封室(63)内的密封用非压缩性介质(38a)的压力进行检测，将密封室压力传感器(71)安装在密封室内，通过对密封室内的压力进行检测可以判断密封材料(69)的劣化程度。

公开(公告)号：CN115213062A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202210264148.0

申请日：2022-03-17

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: B05C11/10

Abstract: 一种液体供给装置，增加在设置有过滤器的液体供给路径中循环的液体量，提高液体中所含异物的减少量。液体供给装置(10)具有：第一泵(21)和第二泵(22)，分别设置在将液体收纳部(11)所收纳的液体供给到涂敷工具(13)的液体供给路径(12)中；过滤器(15)，过滤流向涂敷工具(13)的液体；以及返回通道(27)，将通过了过滤器的液体返回到液体收纳部(11)，在向返回通道(27)供给液体并停止向涂敷工具(13)供给液体的循环模式中，第一泵(21)和第二泵(22)中的任一个向返回通道(27)连续供给液体。

公开(公告)号：CN1221300C

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN02809898.6

申请日：2002-12-06

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: B01D19/00 ,  B05C11/10 ,  H01L21/027 ,  G03F7/16

CPC classification number: B01D19/0068 ,  G03F7/16 ,  H01L21/6715

Abstract: 缓冲罐部(6)有通过液体导入流路(42)与收纳药液的液体罐(46)连通的液体贮留室(61)。过滤器部(4)具有过滤器入口(41a)和过滤器出口(41b)，过滤器入口(41a)与缓冲罐部(6)的液体排出口(60d)连通。泵(11)，其泵入口(11a)与过滤器出口(41b)连接，泵出口(11b)介于液体排出流路(47)与排出喷嘴(50)连接。返回流路(48)连接在泵出口(11b)和缓冲罐部(6)之间，使从泵(11)排出的药液返回到液体贮留室(61)。排气流路(49)与缓冲罐部(6)连接，排出液体贮留室(61)内的空气。

公开(公告)号：CN1509199A

公开(公告)日：2004-06-30

申请号：CN02809898.6

申请日：2002-12-06

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: B01D19/00 ,  B05C11/10 ,  H01L21/027 ,  G03F7/16

CPC classification number: B01D19/0068 ,  G03F7/16 ,  H01L21/6715

Abstract: 缓冲罐部(6)有通过液体导入流路(42)与收纳药液的液体罐(46)连通的液体贮留室(61)。过滤器部(4)具有过滤器入口(41a)和过滤器出口(41b)，过滤器入口(41a)与缓冲罐部(6)的液体排出口(60d)连通。泵(11)，其泵入口(11a)与过滤器出口(41b)连接，泵出口(11b)介于液体排出流路(47)与排出喷嘴(50)连接。返回流路(48)连接在泵出口(11b)和缓冲罐部(6)之间，使从泵(11)排出的药液返回到液体贮留室(61)。排气流路(49)与缓冲罐部(6)连接，排出液体贮留室(61)内的空气。

公开(公告)号：CN117730205A

公开(公告)日：2024-03-19

申请号：CN202280049924.3

申请日：2022-08-17

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: F04B53/00 ,  F04B9/04

Abstract: 液体供给装置(10)具有：泵单元(11)，设置有多个泵部件；机壳(15)，组装有驱动泵部件的多个驱动杆；驱动辊(32)，相对于驱动杆的往复运动方向以横向的旋转中心轴为中心旋转；凸轮部件(43)，在端面设置有供驱动辊(32)接触的凸轮面(48)，凸轮部件(43)被电动马达(45)旋转驱动；磁铁(66)，设置于凸轮部件(43)的外周部；以及磁传感器(71)，感应磁铁(66)的磁力以输出旋转信号。

公开(公告)号：CN101165348B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200710146330.1

申请日：2007-09-05

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: F04B43/10

CPC classification number: F04B43/107

Abstract: 本发明提供一种能够高精度地喷出药液的药液供给装置。药液供给装置用于将药液罐(25)内的药液从涂覆喷嘴(27)内喷出。药液供给装置具有将泵壳(11)和汽缸(12)结合为一体的合体部件(13)。泵部件即柔性管(15)设置在泵壳(11)上，其内部形成为泵室(16)，外部形成为泵侧驱动室(17)。活塞(31)组装在汽缸(12)内。当活塞(31)通过电机(49)进行往复运动时，泵室(16)膨胀收缩。活塞(31)和汽缸(12)之间的空间由隔膜(61)覆盖。隔膜(61)的内部形成为密封空间(62)。从而，从活塞(31)和汽缸(12)之间泄漏的非压缩性介质将进入到密封空间(62)内，而不会泄漏到外部。

公开(公告)号：CN100549418C

公开(公告)日：2009-10-14

申请号：CN200710153827.6

申请日：2007-09-12

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: F04B43/10

CPC classification number: F04B43/107 ,  F04B43/067

Abstract: 本发明提供了一种药液供给装置，该装置能够高精度地喷出药液，并且能够监测非压缩性介质是否从活塞和汽缸之间泄漏。泵(11)具有将泵室(17)和驱动室(18)隔开的柔性管(16)，通过在汽缸(12)的汽缸孔(33)内往复运动的活塞(34)将非压缩性介质(38)供给到驱动室(18)内。波纹管罩(64)设置在活塞(34)和汽缸(12)之间，由波纹管罩(64)形成与活塞(34)的滑动面相连的密封室(63)。为了对封入到密封室(63)内的密封用非压缩性介质(38a)的压力进行检测，将密封室压力传感器(71)安装在密封室内，通过对密封室内的压力进行检测可以判断密封材料(69)的劣化程度。

公开(公告)号：CN100425836C

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：CN200480025959.5

申请日：2004-01-30

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: F04B43/10

CPC classification number: F04B43/10

Abstract: 一种软管(20)，具有入口侧固定端(21)、出口侧固定端(22)、以及形成于二者之间的弹性变形部分(23)。弹性变形部分(23)具有凸弧部分(42)。在凸弧部分(42)中，三个顶点(41)在轴向以近似规则的间隔分隔开，该凸弧部分(42)以每个顶点(41)为变形中心以凸的形状向外弯曲，使得具有的曲率半径小于与顶点(41)相切的虚圆(S)的曲率半径。凹弧部分(43)在周向上在每个凸弧部分(42)之间连续形成，并且每个凹弧部分(43)以凹的形状向外弯曲。在弹性变形部分膨胀和收缩时，每个凸弧部分(42)在周向弹性变形，且凹弧部分(43)在径向弹性变形。