公开(公告)号：CN113641082B

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202110935995.0

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息通过设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息通过设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统则一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

公开(公告)号：CN108231642B

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN201810026949.7

申请日：2012-05-11

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明的基板载台(20a)，从基板保持具(30a)喷出加压气体以使基板(P1)悬浮，基板搬出装置(93)以基板保持具(30a)的上面(基板装载面)为导引面使基板(P1)沿水平面移动藉此从基板保持具(30a)搬出。接着，预定曝光的另一基板(P2)在进行基板(P1)的搬出动作时，在基板保持具(30a)的上方待机，于基板(P1)的搬出动作完成后被交至基板载台(20a)所具有的数个基板顶起装置(46a)。

公开(公告)号：CN110546572B

公开(公告)日：2023-01-10

申请号：CN201880022803.3

申请日：2018-03-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  冨江瑛彦

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及器件制造方法，可适当地抑制板的定位的精度变差。曝光装置(1)是经由光学系统(13)将照明光(EL)照射至物体(P)，对物体进行扫描曝光，将掩模(M)所具有的规定图案形成于物体上的曝光装置，包括支撑光学系统的支撑装置(14)、以及设置在支撑装置上对物体进行非接触支撑的物体支撑部(152)。

公开(公告)号：CN113504712A

公开(公告)日：2021-10-15

申请号：CN202110746539.1

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68 ,  G01B11/00 ,  G03F9/00

Abstract: 本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

公开(公告)号：CN113204177A

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：CN202110472738.8

申请日：2016-03-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种曝光装置，借助投影光学系统向基板(P)照射照明光，相对于照明光相对地驱动基板(P)，分别对玻璃基板(P)的多个区域进行扫描曝光，该曝光装置包括：基板保持件(68)，其对基板(P)的第1区域进行悬浮支承；基板载具(70)，其保持由基板保持件(68)悬浮支承的玻璃基板(P)；X粗调台(40)，其对基板保持件(68)进行驱动；X音圈马达(84x)和Y音圈马达(84y)，二者对基板载具(70)进行驱动；以及控制装置，其在扫描曝光中对X粗调台(40)、X音圈马达(84x)等进行控制，以分别驱动基板保持件(68)和基板载具(70)。由此，能够提供一种物体位置控制性得到了提高的曝光装置。

公开(公告)号：CN112965345A

公开(公告)日：2021-06-15

申请号：CN202110361410.9

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

公开(公告)号：CN107407893B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201680020108.4

申请日：2016-03-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 一种曝光装置，借助投影光学系统向基板(P)照射照明光，相对于照明光相对地驱动基板(P)，分别对玻璃基板(P)的多个区域进行扫描曝光，该曝光装置包括：基板保持件(68)，其对基板(P)的第1区域进行悬浮支承；基板载具(70)，其保持由基板保持件(68)悬浮支承的玻璃基板(P)；X粗调台(40)，其对基板保持件(68)进行驱动；X音圈马达(84x)和Y音圈马达(84y)，二者对基板载具(70)进行驱动；以及控制装置，其在扫描曝光中对X粗调台(40)、X音圈马达(84x)等进行控制，以分别驱动基板保持件(68)和基板载具(70)。由此，能够提供一种物体位置控制性得到了提高的曝光装置。

公开(公告)号：CN111133383A

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：CN201780095223.2

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明为了缩短基板更换所耗的时间而提供一种基板搬运装置，其将基板搬运至保持装置，且包括：第一保持部，在所述保持装置的上方保持所述基板；第二保持部，保持经所述第一保持部保持的所述基板的一部分；以及驱动部，以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部中的一者相对于另一者相对移动；且所述保持装置、所述第一保持部及所述第二保持部在所述驱动部进行的相对移动中保持所述基板。

公开(公告)号：CN110546572A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201880022803.3

申请日：2018-03-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  冨江瑛彦

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 曝光装置(1)是经由光学系统(13)将照明光(EL)照射至物体(P)，对物体进行扫描曝光，将掩模(M)所具有的规定图案形成于物体上的曝光装置，包括支撑光学系统的支撑装置(14)、以及设置在支撑装置上对物体进行非接触支撑的物体支撑部(152)。

公开(公告)号：CN110114725A

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201780060911.5

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

Abstract: 一种搬运装置，其相对于非接触地支撑基板(P)的非接触固定器(32)而搬运基板(P)，所述搬运装置包括：保持垫(1084b)，在位于非接触固定器(32)的上方的第1位置保持基板(P)的一部分；驱动部，使保持基板(P)的保持垫(1084b)以基板(P)非接触地支撑于非接触固定器(32)的方式朝下方移动；以及吸附垫(44)，保持由保持垫(1084b)保持的基板(P)藉由所述驱动部而移动，非接触地支撑于非接触固定器(32)后的基板(P)；所述驱动部使保持垫(1084b)自第1位置移动至可将基板(P)交付至吸附垫(44)的第2位置。