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公开(公告)号：CN1266456C
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN03125149.8
申请日：2003-05-12
Applicant: 株式会社山武
Abstract: 一种流量传感器，包括基底、电绝缘膜和流动速度检测装置。具有与测量目标流体接触的第一表面的薄的部分的基底，和围绕薄的部分的厚的固定部分整体形成。电绝缘膜在薄的部分的第二表面形成，这在第一表面相反一面；流动速度检测装置(112，125)置于电绝缘膜(113，117)上。流动速度检测装置位于电绝缘膜。也描述了流量传感器的制造方法。
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公开(公告)号：CN1231745C
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：CN01819360.9
申请日：2001-10-17
Applicant: 株式会社山武
CPC classification number: G01F1/6845 , G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F1/692
Abstract: 流量传感器(1)包括：基板(4)，它有侧向面对测量目标流体(2)所用通道(3)的前表面(4a)，以及通道形成部件(5)和平板(6)，它们在基板(4)两侧相对设置。用厚度约为50μm到150μm的不锈钢将基板(4)制成薄板状。在基板(4)的表面(4b)上形成电绝缘膜，所述基板与通道(3)侧向相对。所述电绝缘膜上形成测量流体(2)的流速(流率)用的温度检测传感器(7)、环境温度传感器(8)、电极垫片(9)和配线用的金属薄膜(10)。
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公开(公告)号：CN101393045B
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200810092873.4
申请日：2008-05-07
Applicant: 株式会社山武
IPC: G01F1/684
Abstract: 本发明提供流量传感器及其制造方法，该传感器通过将传感器芯片和流道形成部件接合起来而构成，传感器芯片在基的上表面形成有流量检测部；流道形成部件设置在传感器芯片上，并形成有流过流量检测部的流体的流道，将透明的第一和第二流道形成部件接合起来以形成流道形成部件，第一流道形成部件构成为板状，在其上设有被测定流体的导入孔和导出孔，第二流道形成部件构成为板状，在其上设有贯通口，贯通口形成沿着流体的流动的流道，该流体沿着流量检测部流动，使导入孔和导出孔与贯通口的两端连通，将流量检测部配置在贯通口的与导入孔和导出孔对应的部分之间，形成预定截面积的流道，从而提高了传感器流道的截面积的加工精度并使流量检测精度稳定。
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公开(公告)号：CN101393044A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810092872.X
申请日：2008-05-07
Applicant: 株式会社山武
IPC: G01F1/68
CPC classification number: G01F1/6845
Abstract: 本发明提供一种流量传感器单元，其包括：流量传感器(12)，具有传感器芯片(22)和流道形成部件(23)，该芯片中在基板上表面上覆盖形成于其上的凹部的至少一部分地被覆有绝缘膜，在绝缘膜上形成有流量检测部(27)，流道形成部件设在传感器芯片上并形成有流经流量检测部的流体的流道(24)；金属制流道体(14)，收容流量传感器，并形成有以将该流道体内周面与流量传感器外周部分离的状态进行收容的收容部(14c)；金属制安装板(13)，以固定保持有流量传感器的状态固定在流道体上，以将该流量传感器收容在流道体收容部中；和绝缘部件(29)，插装在流量传感器的传感器芯片与安装板之间，与传感器芯片接合并与安装板接合。
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公开(公告)号：CN101393044B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200810092872.X
申请日：2008-05-07
Applicant: 株式会社山武
IPC: G01F1/68
CPC classification number: G01F1/6845
Abstract: 本发明提供一种流量传感器单元，其包括：流量传感器(12)，具有传感器芯片(22)和流道形成部件(23)，该芯片中在基板上表面上覆盖形成于其上的凹部的至少一部分地被覆有绝缘膜，在绝缘膜上形成有流量检测部(27)，流道形成部件设在传感器芯片上并形成有流经流量检测部的流体的流道(24)；金属制流道体(14)，收容流量传感器，并形成有以将该流道体内周面与流量传感器外周部分离的状态进行收容的收容部(14c)；金属制安装板(13)，以固定保持有流量传感器的状态固定在流道体上，以将该流量传感器收容在流道体收容部中；和绝缘部件(29)，插装在流量传感器的传感器芯片与安装板之间，与传感器芯片接合并与安装板接合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101963518A
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN201010275240.4
申请日：2008-05-07
Applicant: 株式会社山武
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/6845 , G01F1/692 , Y10T29/49099
Abstract: 本发明提供流量传感器及其制造方法，该传感器通过将传感器芯片和流道形成部件接合起来而构成，传感器芯片在基的上表面形成有流量检测部；流道形成部件设置在传感器芯片上，并形成有流过流量检测部的流体的流道，将透明的第一和第二流道形成部件接合起来以形成流道形成部件，第一流道形成部件构成为板状，在其上设有被测定流体的导入孔和导出孔，第二流道形成部件构成为板状，在其上设有贯通口，贯通口形成沿着流体的流动的流道，该流体沿着流量检测部流动，使导入孔和导出孔与贯通口的两端连通，将流量检测部配置在贯通口的与导入孔和导出孔对应的部分之间，形成预定截面积的流道，从而提高了传感器流道的截面积的加工精度并使流量检测精度稳定。
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公开(公告)号：CN100410630C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200480025084.9
申请日：2004-08-26
Applicant: 株式会社山武
IPC: G01F1/68
CPC classification number: G01F1/6845
Abstract: 流量传感器。流量传感器(1)具有耐蚀性金属膜片、在金属膜片的一个面上形成的绝缘膜、以及在该绝缘膜上形成的流量测量用的传感器，且金属膜片的另一个面与被测流体接触，在形成传感器(25)的绝缘膜(122)和金属膜片之间隔着具有该绝缘膜(122)的线膨胀系数和耐蚀性金属的线膨胀系数中间的线膨胀系数的缓冲层(121)，由此提高流量传感器的灵敏度和响应性，并且提高耐热性，从而实现特别适合于测量腐蚀性流体的流量的流量传感器。
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公开(公告)号：CN101393045A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810092873.4
申请日：2008-05-07
Applicant: 株式会社山武
IPC: G01F1/684
Abstract: 本发明提供流量传感器及其制造方法，该传感器通过将传感器芯片和流道形成部件接合起来而构成，传感器芯片在基的上表面形成有流量检测部；流道形成部件设置在传感器芯片上，并形成有流过流量检测部的流体的流道，将透明的第一和第二流道形成部件接合起来以形成流道形成部件，第一流道形成部件构成为板状，在其上设有被测定流体的导入孔和导出孔，第二流道形成部件构成为板状，在其上设有贯通口，贯通口形成沿着流体的流动的流道，该流体沿着流量检测部流动，使导入孔和导出孔与贯通口的两端连通，将流量检测部配置在贯通口的与导入孔和导出孔对应的部分之间，形成预定截面积的流道，从而提高了传感器流道的截面积的加工精度并使流量检测精度稳定。
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公开(公告)号：CN1846118A
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200480025084.9
申请日：2004-08-26
Applicant: 株式会社山武
IPC: G01F1/68
CPC classification number: G01F1/6845
Abstract: 流量传感器。流量传感器(1)具有耐蚀性金属膜片、在金属膜片的一个面上形成的绝缘膜、以及在该绝缘膜上形成的流量测量用的传感器，且金属膜片的另一个面与被测流体接触，在形成传感器(25)的绝缘膜(122)和金属膜片之间隔着具有该绝缘膜(122)的线膨胀系数和耐蚀性金属的线膨胀系数中间的线膨胀系数的缓冲层(121)，由此提高流量传感器的灵敏度和响应性，并且提高耐热性，从而实现特别适合于测量腐蚀性流体的流量的流量传感器。
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公开(公告)号：CN1476530A
公开(公告)日：2004-02-18
申请号：CN01819360.9
申请日：2001-10-17
Applicant: 株式会社山武
CPC classification number: G01F1/6845 , G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F1/692
Abstract: 流量传感器(1)包括：基板(4)，它有侧向面对测量目标流体(2)所用通道(3)的前表面(4a)，以及通道形成部件(5)和平板(6)，它们在基板(4)两侧相对设置。用厚度约为50μm到150μm的不锈钢将基板(4)制成薄板状。在基板(4)的表面(4b)上形成电绝缘膜，所述基板与通道(3)侧向相对。所述电绝缘膜上形成测量流体(2)的流速(流率)用的温度检测传感器(7)、环境温度传感器(8)、电极垫片(9)和配线用的金属薄膜(10)。
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