公开(公告)号：CN106024688A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610177290.6

申请日：2016-03-25

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 小林和贵 ,  加藤洋

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/68 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/68792

Abstract: 基板保持方法，用于使基板保持水平，包括：载置工序，将基板载置在基板搬运机构上；第一准备工序，在旋转底座的上表面周缘部的第一区域中，将沿周向配置的多个定位销变为关闭状态；第二准备工序，在旋转底座的上表面周缘部的与第一区域在周向上不重叠的第二区域中，将沿周向配置的多个把持用销变为打开状态；定位工序，在载置工序、第一准备工序及第二准备工序之后，通过使基板搬运机构移动并使基板的周缘部与多个定位销抵接，来对基板定位；基板把持工序，在定位工序之后，将多个把持用销变为关闭状态，由此，通过多个定位销和多个把持用销来保持基板；搬运机构退避工序，在基板把持工序之后，使基板搬运机构从旋转底座的上方退避。

公开(公告)号：CN105378909A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201480034840.8

申请日：2014-03-31

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 加藤洋

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/027

CPC classification number: B08B3/02 ,  B08B3/10 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67023 ,  H01L21/67046 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/68792

Abstract: 基板处理装置(1)具有旋转台(7)、旋转驱动机构(3)、设置在旋转台(7)上的保持销(10)、用于覆盖基板(W)的下表面的保护盘(15)、使保护盘(15)从旋转台(7)浮起的磁浮起机构(41)。保护盘(15)能够在下位置与接近位置之间上下移动，该接近位置指，在下位置的上方，与基板的下表面接近的位置。磁浮起机构(41)具有保护盘侧永久磁铁(60)、被挡板(4)保持的环状的挡板侧永久磁铁(25)。在通过挡板驱动机构(5)使挡板(4)上升时，能够借助永久磁铁之间的磁排斥力使保护盘(15)从旋转台(7)浮起并保持在接近位置。

公开(公告)号：CN106024688B

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201610177290.6

申请日：2016-03-25

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 小林和贵 ,  加藤洋

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68728

Abstract: 基板保持方法，用于使基板保持水平，包括：载置工序，将基板载置在基板搬运机构上；第一准备工序，在旋转底座的上表面周缘部的第一区域中，将沿周向配置的多个定位销变为关闭状态；第二准备工序，在旋转底座的上表面周缘部的与第一区域在周向上不重叠的第二区域中，将沿周向配置的多个把持用销变为打开状态；定位工序，在载置工序、第一准备工序及第二准备工序之后，通过使基板搬运机构移动并使基板的周缘部与多个定位销抵接，来对基板定位；基板把持工序，在定位工序之后，将多个把持用销变为关闭状态，由此，通过多个定位销和多个把持用销来保持基板；搬运机构退避工序，在基板把持工序之后，使基板搬运机构从旋转底座的上方退避。

公开(公告)号：CN105378909B

公开(公告)日：2018-10-12

申请号：CN201480034840.8

申请日：2014-03-31

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 加藤洋

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/027

Abstract: 基板处理装置(1)具有旋转台(7)、旋转驱动机构(3)、设置在旋转台(7)上的保持销(10)、用于覆盖基板(W)的下表面的保护盘(15)、使保护盘(15)从旋转台(7)浮起的磁浮起机构(41)。保护盘(15)能够在下位置与接近位置之间上下移动，该接近位置指，在下位置的上方，与基板的下表面接近的位置。磁浮起机构(41)具有保护盘侧永久磁铁(60)、被挡板(4)保持的环状的挡板侧永久磁铁(25)。在通过挡板驱动机构(5)使挡板(4)上升时，能够借助永久磁铁之间的磁排斥力使保护盘(15)从旋转台(7)浮起并保持在接近位置。