公开(公告)号：CN106024688B

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201610177290.6

申请日：2016-03-25

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 小林和贵 ,  加藤洋

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68728

Abstract: 基板保持方法，用于使基板保持水平，包括：载置工序，将基板载置在基板搬运机构上；第一准备工序，在旋转底座的上表面周缘部的第一区域中，将沿周向配置的多个定位销变为关闭状态；第二准备工序，在旋转底座的上表面周缘部的与第一区域在周向上不重叠的第二区域中，将沿周向配置的多个把持用销变为打开状态；定位工序，在载置工序、第一准备工序及第二准备工序之后，通过使基板搬运机构移动并使基板的周缘部与多个定位销抵接，来对基板定位；基板把持工序，在定位工序之后，将多个把持用销变为关闭状态，由此，通过多个定位销和多个把持用销来保持基板；搬运机构退避工序，在基板把持工序之后，使基板搬运机构从旋转底座的上方退避。

公开(公告)号：CN106024688A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610177290.6

申请日：2016-03-25

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 小林和贵 ,  加藤洋

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/68 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/68792

Abstract: 基板保持方法，用于使基板保持水平，包括：载置工序，将基板载置在基板搬运机构上；第一准备工序，在旋转底座的上表面周缘部的第一区域中，将沿周向配置的多个定位销变为关闭状态；第二准备工序，在旋转底座的上表面周缘部的与第一区域在周向上不重叠的第二区域中，将沿周向配置的多个把持用销变为打开状态；定位工序，在载置工序、第一准备工序及第二准备工序之后，通过使基板搬运机构移动并使基板的周缘部与多个定位销抵接，来对基板定位；基板把持工序，在定位工序之后，将多个把持用销变为关闭状态，由此，通过多个定位销和多个把持用销来保持基板；搬运机构退避工序，在基板把持工序之后，使基板搬运机构从旋转底座的上方退避。