公开(公告)号：CN105590877B

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201510765872.1

申请日：2015-11-11

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 山田亮

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  G06T7/00

Abstract: 本发明涉及一种数据修正装置、描画装置、检查装置、数据修正方法、描画方法、检查方法及记录介质。数据修正部的蚀刻特性存储部将对于对象物上的多个对象位置的各者的蚀刻特性作为对象蚀刻特性而加以存储。特性群组获取部通过将与相互类似的对象蚀刻特性对应的对象位置包含于1个特性群组，而将多个对象位置分成比该多个对象位置少的特定数量的特性群组。分割数据修正部将通过蚀刻而形成在对象物上的图案的设计数据分割成与设定在对象物上的多个分割区域对应的多个分割数据，并对各分割数据基于代表与该分割数据对应的分割区域的最接近的对象位置所属的一个特性群组的蚀刻特性而进行修正。由此，能够高效地进行高精度的蚀刻修正。

公开(公告)号：CN105590877A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201510765872.1

申请日：2015-11-11

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 山田亮

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  G06T7/00

CPC classification number: H01L22/20 ,  G06T7/0006 ,  G06T2207/10004 ,  G06T2207/30141 ,  H01L21/67063 ,  H01L22/12

Abstract: 本发明涉及一种数据修正装置、描画装置、检查装置、数据修正方法、描画方法、检查方法及记录介质。数据修正部的蚀刻特性存储部将对于对象物上的多个对象位置的各者的蚀刻特性作为对象蚀刻特性而加以存储。特性群组获取部通过将与相互类似的对象蚀刻特性对应的对象位置包含于1个特性群组，而将多个对象位置分成比该多个对象位置少的特定数量的特性群组。分割数据修正部将通过蚀刻而形成在对象物上的图案的设计数据分割成与设定在对象物上的多个分割区域对应的多个分割数据，并对各分割数据基于代表与该分割数据对应的分割区域的最接近的对象位置所属的一个特性群组的蚀刻特性而进行修正。由此，能够高效地进行高精度的蚀刻修正。