公开(公告)号：CN1132407A

公开(公告)日：1996-10-02

申请号：CN95118750.3

申请日：1995-11-03

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 小藤直行 ,  新井真 ,  辻本和典 ,  水谷巽 ,  铃木敬三 ,  水石贤一

IPC: H01J37/305 ,  H01L21/3065 ,  C30B33/12

CPC classification number: H01J37/32623 ,  H01J37/32706

Abstract: 为了抑制由于电子遮蔽现象而引起的开槽、电荷聚集损伤、副沟和弯弓形，提供一种占空比等于或低于5％和重复频率等于或高于400KHz脉冲电压。因此，在衬底偏置中出现一个用于加速电子的周期，从而使电子遮蔽现象不出现。

公开(公告)号：CN1756234B

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200510006838.2

申请日：2005-01-28

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 山田真理子 ,  矢野正 ,  新井真

IPC: H04L12/56 ,  H04L9/00 ,  H04L12/46

CPC classification number: H04L63/08 ,  H04L63/164

Abstract: 本发明提供一种服务器、VPN客户机、VPN系统及软件，可以大幅减轻VPN服务器的处理负荷，并能够使VPN服务器的处理能力得到提高。将VPN客户机所发送的IP信息包的目标地址作为多播地址，根据从VPN服务器所分发的多播地址的安全关联进行加密。以VPN服务器的IP地址对加密后的IP信息包进行封装，将其发送给VPN服务器。接收到该IP信息包后的VPN服务器根据IP信息包中所封装IP信息包的多播地址，决定发送目的地的VPN客户机，并以发送目的地VPN客户机的IP地址进行封装，将其发送给VPN客户机。

公开(公告)号：CN1069439C

公开(公告)日：2001-08-08

申请号：CN95118750.3

申请日：1995-11-03

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 小藤直行 ,  新井真 ,  辻本和典 ,  水谷巽 ,  铃木敬三 ,  水石贤一

IPC: H01J37/305 ,  H01L21/3065 ,  C30B33/12

CPC classification number: H01J37/32623 ,  H01J37/32706

Abstract: 为了抑制由于电子遮蔽现象而引起的开槽、电荷聚集损伤、副沟和弯弓形，提供一种占空比等于或低于5%和重复频率等于或高于400KHz脉冲电压。因此，在衬底偏置中出现一个用于加速电子的周期，从而使电子遮蔽现象不出现。