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公开(公告)号：CN110520215A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201880022211.1
申请日：2018-04-02
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 提供一种即使在多个流体流路形成为以相互平行的状态延伸的情况下也能够使多个流体流路各自的流路长度变长、并且能够容易地将多个流体流路各自的内部清扫的流体流路装置。在流体流路装置中，形成有以相互平行的状态延伸并且分别使流体流通的多个流体流路。流体流路装置具备：主体，具有在规定的层叠方向上层叠的多个基板；以及多个盖，分别能够相对于主体拆装。多个流体流路分别包括：第1流体流路，形成在多个基板中的在上述层叠方向上接触的两个基板之间；以及第2流体流路，形成在多个基板中的在上述层叠方向上接触的两个基板之间，在上述层叠方向上配置在与第1流体流路不同的位置，在流体流动的方向上位于比第1流体流路靠下游侧。
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