公开(公告)号：CN102121580B

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：CN201010551849.X

申请日：2010-11-16

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 村井伟志 ,  西森直树 ,  杉山高介 ,  松井明 ,  本间健次 ,  太田润 ,  仲田佐幸 ,  增田梨惠

IPC: F21S2/00 ,  F21V17/00 ,  F21V19/00 ,  F21V5/04 ,  H04N5/225

CPC classification number: F21V5/007 ,  F21Y2105/00 ,  F21Y2115/10 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8816 ,  G01N2201/0626

Abstract: 本发明提供一种照明装置及其制造方法，可抑制成本，所述照明装置的配齐套件具有可与各种照明视野及设置距离相对应的多个变化。各单元(2)由安装于基板(4)上的发光元件、和以与该发光元件成对的方式配置的透镜构成，各单元(2)中的发光元件和透镜的相对位置关系因基板(4)上的位置而不同。由此，使来自发光元件的光相对于基板(4)的垂直方向以根据不同的单元(2)而设定的非零的角度向外部照射。

公开(公告)号：CN1782662A

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：CN200510129011.0

申请日：2005-11-29

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 高嶋润 ,  江川弘一 ,  村井伟志

IPC: G01B11/06 ,  G01N21/21

CPC classification number: G01B11/0641 ,  G01B11/0625 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/213

Abstract: 本发明提供一种分光计测装置，其实现小型化，由于具备相对于距离抖动、水平方向角度抖动和垂直方向角度抖动的抗耐性，而适于例如半导体制造过程或FPD制造过程等中的在线计测。在上述光电转换部阵列单元之前具有通过透过位置而逐渐使透过光波长变化的光干涉式的分光元件的同时，基于具有检测出来自试料的反射光的偏振光状态的变化的功能的受光侧光学系统、和从上述光电转换部阵列单元的各光电转换部获得的一系列的受光量数据进行偏振光分析，通过实测波形和理论波形的拟合来求取膜厚或膜质。

公开(公告)号：CN102121580A

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN201010551849.X

申请日：2010-11-16

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 村井伟志 ,  西森直树 ,  杉山高介 ,  松井明 ,  本间健次 ,  太田润 ,  仲田佐幸 ,  增田梨惠

IPC: F21S2/00 ,  F21V17/00 ,  F21V19/00 ,  F21V5/04 ,  H04N5/225

CPC classification number: F21V5/007 ,  F21Y2105/00 ,  F21Y2115/10 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8816 ,  G01N2201/0626

Abstract: 本发明提供一种照明装置及其制造方法，可抑制成本，所述照明装置的配齐套件具有可与各种照明视野及设置距离相对应的多个变化。各单元(2)由安装于基板(4)上的发光元件、和以与该发光元件成对的方式配置的透镜构成，各单元(2)中的发光元件和透镜的相对位置关系因基板(4)上的位置而不同。由此，使来自发光元件的光相对于基板(4)的垂直方向以根据不同的单元(2)而设定的非零的角度向外部照射。