位移传感器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102803896B

    公开(公告)日:2014-10-22

    申请号:CN201180014240.1

    申请日:2011-03-17

    CPC classification number: G01B11/026 G01B11/14 G01S7/4918 G01S17/48

    Abstract: 在位移传感器(1)的受光部(102)设置有以彼此不同的倍率处理来自拍摄元件(12)的受光信号的信号处理部(C1、C2、C3)。在该传感器(1)中,在每次通过投光部(101)以及受光部(102)进行检测处理时,利用通过信号处理部(C1)生成的受光量数据测量位移量,而且调整下一次的检测处理的灵敏度。在灵敏度的调整处理中,在信号处理部(C1)所生成的受光量数据中的峰值接近0时,使用由应用了更高的倍率的信号处理部(C2)提取的峰值。另外,在信号处理部(C1)所生成的受光量数据中的峰值饱和时,使用由使用1倍的倍率的信号处理部(C3)提取的峰值。

    位移测量方法以及位移测量装置

    公开(公告)号:CN104797904A

    公开(公告)日:2015-07-22

    申请号:CN201380059806.1

    申请日:2013-11-14

    CPC classification number: G01B11/026 G01B2210/50 G01C3/06

    Abstract: 本发明提供一种作为位移测量装置的共焦点测量装置(100)。该共焦点测量装置(100)具有:白色LED(21),出射多个波长的光;头部(10),以衍射透镜(2)、物镜(3)、开口作为共焦点光学系统而构成;移动机构(40),使头部(10)沿着共焦点测量装置(100)的测量轴(Z轴)方向移动;测量部(控制器部(20))。共焦点测量装置(100)使头部(10)与测量对象物(200)之间的距离变化,来取得通过开口的光的光谱的极大点。共焦点测量装置(100)将该极大点成为分光反射特性的极大点或者极小点时的距离,设定为当测量位移时的头部(10)与测量对象物之间的基准距离。

    位移传感器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102713510A

    公开(公告)日:2012-10-03

    申请号:CN201180005285.2

    申请日:2011-03-17

    Abstract: 作为表示使位移传感器(1)动作的条件的参数而输入响应时间的目标值以及检测误差的允许值中的至少一个值,来进行利用工件的模型的示教处理。示教处理时的CPU(110),一边反复通过投光部(101)以及受光部(102)进行检测处理一边决定最大曝光时间,并且算出位移量的测量数据的差量,通过利用最大曝光时间以及测量数据的差量的运算处理,导出与被输入的参数的值相匹配的移动平均值运算的数据数量。将该数据数量记录在存储器(111)中,并在通常的动作模式下的移动平均值运算中使用。

    位移传感器
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102713510B

    公开(公告)日:2014-11-12

    申请号:CN201180005285.2

    申请日:2011-03-17

    Abstract: 作为表示使位移传感器(1)动作的条件的参数而输入响应时间的目标值以及检测误差的允许值中的至少一个值,来进行利用工件的模型的示教处理。示教处理时的CPU(110),一边反复通过投光部(101)以及受光部(102)进行检测处理一边决定最大曝光时间,并且算出位移量的测量数据的差量,通过利用最大曝光时间以及测量数据的差量的运算处理,导出与被输入的参数的值相匹配的移动平均值运算的数据数量。将该数据数量记录在存储器(111)中,并在通常的动作模式下的移动平均值运算中使用。

    位移传感器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103140735A

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201180047675.6

    申请日:2011-03-17

    CPC classification number: G01B11/0608 G01S17/50

    Abstract: 在将CMOS线性图像传感器(100)嵌入受光部(1)的位移传感器中,CPU(3)在利用复位信号RSET将CMOS线性图像传感器(100)的各像素部的蓄积电荷复位之后,输出投光控制信号LDON,接着,输出受光控制信号PDSW,来开始在各像素部蓄积电荷。另外,在结束投光控制信号LDON的输出之前,结束受光控制信号PDSW的输出,并利用读取控制信号ST,指示图像的输出。另外,CPU(3)以维持受光控制信号PDSW与投光控制信号LDON的输出的关系为条件,基于从CMOS线性图像传感器(100)输出的图像中的峰值,对输出受光控制信号PDSW的期间的长度进行调整。

    倾斜测定装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108375349B

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN201711045907.X

    申请日:2017-10-31

    Abstract: 提供便利性优越的倾斜测定装置。倾斜测定装置(1)具备:光学系列(传感器头30),其向测量对象物(2)照射来自光源(10)的照射光,并且接收来自测量面的反射光;受光部(40),其包含将所述反射光分离为各波长成分的至少1个分光器(42)及具有多个受光元件的检测器(44);包含多个缆芯的导光部(20);以及处理部(50),其根据与所述测量面上多个位置上的多个照射光相对应的反射光,来计算测量面的倾斜角度。

    倾斜测定装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108375349A

    公开(公告)日:2018-08-07

    申请号:CN201711045907.X

    申请日:2017-10-31

    Abstract: 提供便利性优越的倾斜测定装置。倾斜测定装置(1)具备:光学系列(传感器头30),其向测量对象物(2)照射来自光源(10)的照射光,并且接收来自测量面的反射光;受光部(40),其包含将所述反射光分离为各波长成分的至少1个分光器(42)及具有多个受光元件的检测器(44);包含多个缆芯的导光部(20);以及处理部(50),其根据与所述测量面上多个位置上的多个照射光相对应的反射光,来计算测量面的倾斜角度。

    位移测量方法以及位移测量装置

    公开(公告)号:CN104797904B

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201380059806.1

    申请日:2013-11-14

    CPC classification number: G01B11/026 G01B2210/50 G01C3/06

    Abstract: 本发明提供一种作为位移测量装置的共焦点测量装置(100)。该共焦点测量装置(100)具有:白色LED(21),出射多个波长的光;头部(10),以衍射透镜(2)、物镜(3)、开口作为共焦点光学系统而构成;移动机构(40),使头部(10)沿着共焦点测量装置(100)的测量轴(Z轴)方向移动;测量部(控制器部(20))。共焦点测量装置(100)使头部(10)与测量对象物(200)之间的距离变化,来取得通过开口的光的光谱的极大点。共焦点测量装置(100)将该极大点成为分光反射特性的极大点或者极小点时的距离,设定为当测量位移时的头部(10)与测量对象物之间的基准距离。

    位移传感器
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103140735B

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201180047675.6

    申请日:2011-03-17

    CPC classification number: G01B11/0608 G01S17/50

    Abstract: 在将CMOS线性图像传感器(100)嵌入受光部(1)的位移传感器中,CPU(3)在利用复位信号RSET将CMOS线性图像传感器(100)的各像素部的蓄积电荷复位之后,输出投光控制信号LDON,接着,输出受光控制信号PDSW,来开始在各像素部蓄积电荷。另外,在结束投光控制信号LDON的输出之前,结束受光控制信号PDSW的输出,并利用读取控制信号ST,指示图像的输出。另外,CPU(3)以维持受光控制信号PDSW与投光控制信号LDON的输出的关系为条件,基于从CMOS线性图像传感器(100)输出的图像中的峰值,对输出受光控制信号PDSW的期间的长度进行调整。

    位移传感器
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102803896A

    公开(公告)日:2012-11-28

    申请号:CN201180014240.1

    申请日:2011-03-17

    CPC classification number: G01B11/026 G01B11/14 G01S7/4918 G01S17/48

    Abstract: 在位移传感器(1)的受光部(102)设置有以彼此不同的倍率处理来自拍摄元件(12)的受光信号的信号处理部(C1、C2、C3)。在该传感器(1)中,在每次通过投光部(101)以及受光部(102)进行检测处理时,利用通过信号处理部(C1)生成的受光量数据测量位移量,而且调整下一次的检测处理的灵敏度。在灵敏度的调整处理中,在信号处理部(C1)所生成的受光量数据中的峰值接近0时,使用由应用了更高的倍率的信号处理部(C2)提取的峰值。另外,在信号处理部(C1)所生成的受光量数据中的峰值饱和时,使用由使用1倍的倍率的信号处理部(C3)提取的峰值。

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