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公开(公告)号：CN110161295B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201910364717.7
申请日：2019-04-30
Applicant: 浙江大学
IPC: G01R15/24
Abstract: 本发明公开了一种反射式光纤电场传感器的探头及其装调方法，属于电磁场测量领域，反射式光纤电场传感器包括激光器、保偏光纤、三端口环形器和光电探测器，保偏光纤从三端口环形器的第一端口接入，光电探测器设于三端口环形器的第三端口；探头包括：固定装置，具有凹槽结构，凹槽结构内固定有依次布置的偏振片、铌酸锂晶体、1/8波片和反射片；和石英套管，其一端插设有准直透镜，另一端套封有石英圆柱体，固定装置固定在石英套管中部，准直透镜连接三端口环形器的第二端口。解决反射式光纤电场传感器中探头结构的装调问题，降低各元件本身缺陷产生的不利影响，实现各元件相对位置最优化，提高测量灵敏度和稳定性。
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公开(公告)号：CN116430128A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310549832.8
申请日：2023-05-16
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于移频扫描的未知高功率高频微波电场测量方法及装置，属于光学传感和微波测量领域。本发明为解决现有高功率高频微波电场探测时存在的成本高、系统设备复杂、无法兼顾场强和频率测量的问题。本发明装置包括数据处理单元、控制组件、扫频组件、检测组件、信号采集单元。利用移频扫描，通过控制Stokes增益边带和本振边带的同步移频，仅监测kHz～MHz量级的中频信号即可获得未知高功率高频微波信号的频率和电场强度，从而实现了采用低速光电探测器和低速数据采集卡便可测量高频高功率微波信号的频率和场强。
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公开(公告)号：CN109839545A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201910208636.8
申请日：2019-03-19
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明提供一种旋转式光纤电场传感器以及基于该旋转式光纤电场传感器的直流/低频电场测量系统，所述的光纤电场传感器包括套管，套管的一端连接有光纤，入射光依次通过准直透镜、偏振片、电光晶体、波片后，由反射片反射原路返回；所述套管内设有活动安装的内套，所述电光晶体、波片和反射片固定在内套中，并设有驱动所述内套旋转的动力部件。本发明能消除晶体本身的缺陷、杂质以及空间电荷的不利影响，解决传统的光学电场传感器较难甚至不能用于直流/超低频电场测量的问题。
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公开(公告)号：CN119470348A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411575267.3
申请日：2024-11-06
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种超衍射极限的布里渊散射显微成像方法和系统，利用泵浦‑探测的方式激发样品表面或内部的受激布里渊散射，并基于受激布里渊散射机制，利用光场调控改变布里渊增益在探测光斑内的空间分布，通过点扩散函数改造、结构光照明或高阶布里渊散射实现空间超衍射成像与布里渊散射光谱测量的统一，最终实现对样品的非接触式、超衍射极限布里渊散射显微成像。
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公开(公告)号：CN116046803A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310060938.1
申请日：2023-01-16
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种无图案晶圆缺陷多通道检测系统，包括光纤束、准直透镜、第一狭缝光阑、偏振分束镜、第一筒镜、第一二向色镜、第二二向色镜、DIC棱镜、第一物镜、晶圆、第二狭缝光阑、中继镜、第一线阵相机、第二物镜、反射镜、检偏器、第二筒镜、第二线阵相机、纳秒激光器、整形器、第三二向色镜、第三筒镜、第一TDI相机、第四筒镜、第二TDI相机、第四二向色镜、第五筒镜、第三TDI相机、第六筒镜以及第四TDI相机。通过这些元件可以实现晶圆表面、亚表面及内部应力的缺陷检测，且可以实现晶圆表面缺陷和晶圆亚表面缺陷的同时检测，晶圆内部应力缺陷和晶圆亚表面缺陷的同时检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110161295A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910364717.7
申请日：2019-04-30
Applicant: 浙江大学
IPC: G01R15/24
Abstract: 本发明公开了一种反射式光纤电场传感器的探头及其装调方法，属于电磁场测量领域，反射式光纤电场传感器包括激光器、保偏光纤、三端口环形器和光电探测器，保偏光纤从三端口环形器的第一端口接入，光电探测器设于三端口环形器的第三端口；探头包括：固定装置，具有凹槽结构，凹槽结构内固定有依次布置的偏振片、铌酸锂晶体、1/8波片和反射片；和石英套管，其一端插设有准直透镜，另一端套封有石英圆柱体，固定装置固定在石英套管中部，准直透镜连接三端口环形器的第二端口。解决反射式光纤电场传感器中探头结构的装调问题，降低各元件本身缺陷产生的不利影响，实现各元件相对位置最优化，提高测量灵敏度和稳定性。
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公开(公告)号：CN109839546A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201910209424.1
申请日：2019-03-19
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开一种反射式微型光学电场传感器中探头结构的固定装置，包括套管，所述套管的两端封闭，其中一端连接有光纤；所述套管内设有带凹槽的定位部件，所述凹槽固定有依次布置的偏振片、电光晶体、波片和反射片。本发明将偏振片、电光晶体、波片和反射片封闭在套管内，可排除环境中水汽、小颗粒等的污染；同时大幅减少外界应力对偏振片、晶体、波片和反射片的影响，有利于保持光路稳定。
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公开(公告)号：CN119856903A
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202411721195.9
申请日：2024-11-28
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: A61B5/00
Abstract: 本发明涉及一种用于多模光纤脑成像的光纤信号解耦方法、系统、设备及介质，其中方法包括以下步骤：在实验动物自主运动过程中，获取空间位置记录装置记录的实验动物的运动路径，同时，获取以光纤为传输媒介的头戴式脑成像装置记录的实验动物的第一光纤信号；根据运动路径生成多轴运动机构的控制策略；利用控制策略控制固定有实验动物的多轴运动机构进行运动，采集运动过程中实验动物的第二光纤信号；对第一光纤信号和第二光纤信号进行信号处理，实现多模光纤被实验动物扯动引起的光纤运动信号和实验动物运动时的脑成像信号的解耦。与现有技术相比，本发明能够实现光纤运动信号和脑成像信号的解耦，提供高质量的光纤信号数据。
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公开(公告)号：CN116203695A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310216931.4
申请日：2023-03-08
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B7/28
Abstract: 本发明公开了一种结合像散法和莫尔条纹法的大范围高精度对焦装置，属于超精密光学测量领域。本发明装置的作用是实时检测光刻机系统硅片的焦点位置，完成硅片的高精度调焦。检焦装置利用硅片离焦引起的四象限探测器上光斑形状变化完成硅片的大范围粗调焦；利用硅片离焦引起的光栅泰伯自成像周期变化导致的莫尔条纹周期和位相改变，完成硅片的小范围高精度调焦。本发明与现有焦面跟踪装置相比，采用了共轴的检焦方式，极大的扩展了焦面跟踪的范围，同时保证了高精度调焦。
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公开(公告)号：CN109839545B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201910208636.8
申请日：2019-03-19
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明提供一种旋转式光纤电场传感器以及基于该旋转式光纤电场传感器的直流/低频电场测量系统，所述的光纤电场传感器包括套管，套管的一端连接有光纤，入射光依次通过准直透镜、偏振片、电光晶体、波片后，由反射片反射原路返回；所述套管内设有活动安装的内套，所述电光晶体、波片和反射片固定在内套中，并设有驱动所述内套旋转的动力部件。本发明能消除晶体本身的缺陷、杂质以及空间电荷的不利影响，解决传统的光学电场传感器较难甚至不能用于直流/超低频电场测量的问题。
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